非矩形光栅结构中衍射模拟算法研究及应用-光学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 论 文 使 用 授 权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 微光学是研究尺寸在微米级（几微米到几百微米）的光学功能器件（微透镜、 微棱镜、微反射镜）、光学表面微结构（二元光学、衍射光学）以及其阵列的光学 特性及成像方法的学科。微光学元件按照光传播的原理大致上可分为两类：衍射 型微结构光学元件与折射型微结构光学元件。衍射光学元件（DOEs: Diffractive Optical Elements）是基于光的衍射理论，利用计算