磁控溅射法制备氧传感器电解质膜-冶金工程专业论文.docxVIP

内蒙 内蒙古科技大学硕士学位论文 目 录 摘 要I Abstract II 引 言 1 1 文献综述 2 1.1 汽车用氧传感器的应用 2 1.2 汽车用氧传感器的分类 2 1.2.1 氧浓差电池型氧传感器 2 1.2.2 氧化物半导体型氧传感器 4 1.2.3 极限电流型氧传感器 4 1.3 固体电解质材料8 1.3.1 ZrO2 基固体电解质 8 1.3.2 CeO2 基固体电解质 9 1.4 固体电子－氧离子混合导体 10 1.4.1 钙钛矿型氧化物混合导体导电机理 10 1.4.2 透氧机理 11 1.5 磁控溅射沉积制备工艺 11 1.5.1 磁控溅射的基本原理及特点11 1.5.2 磁控溅射法制备薄膜的基本流程 12 1.5.3 影响薄膜属性的因素分析13 2 LSM 致密扩散障碍层与 LSCF 多孔基体的制备 15 2.1 实验原料及仪器设备 15 2.2 配料计算 15 2.3 LSM 致密扩散障碍层制备 16 2.3.1 LSM 致密扩散障碍层粉体的物相分析 18 2.3.2 LSM 致密扩散障碍层的制备与微观形貌 18 2.4 LSCF 多孔基体制备 20 2.4.1 LSCF 粉体的物相分析 21 2.4.2 LSCF 多孔基体的制备与微观形貌 22 3 磁控溅射法制氧传感器电解质薄膜23 3.1 磁控溅射镀膜设备23 3.2 溅射工艺流程的确定 23 3.3 基准工艺参数的确定 24 3.3.1 YSZ 电解质薄膜微观结构分析 25 3.4 基体致密度对磁控溅射 YSZ 电解质膜的影响 25 3.5 基体溅射温度对磁控溅射 YSZ 电解质膜的影响 27 3.5.1 改进磁控溅射工艺的 YSZ 薄膜微观结构分析 27 3.5.2 改进磁控溅射工艺的 YSZ 薄膜能谱分析 28 3.6 溅射气氛对磁控溅射 YSZ 电解质膜的影响 31 3.6.1 二次优化磁控溅射工艺的 YSZ 薄膜微观结构分析 31 3.6.2 二次优化磁控溅射工艺的 YSZ 薄膜能谱分析 32 结 论 36 参考文献37 致 谢 40 PAGE PAGE 1 引 言 汽车尾气中含多种有害物质，主要有碳氢化合物（HC）、一氧化碳（CO）、氮氧 化物（NOX）、硫氧化物（SOX）以及微小粒径的物质(如含铅物、碳烟、油雾)等[1,2]。 目前，随着经济的快速发展，汽车工业迅速上升，但有害物质的排放对坏境造成了严重 的影响。因此，采取一种新方法和新技术来控制汽车尾气的排放成为研究者们关注的焦 点。其中氧传感器成为首要的研究，它通过控制发动机的 A/F 从而控制所用燃料的燃 烧过程，以这样一种方式来减少汽车排放尾气中的有害物质，进而达到从根本上解决净 化尾气的问题[3]。 当前能源短缺成为世界性问题，缓解能源问题的解决方法之一就是节约汽车用油。 在最早期，由丰田公司做出过一系列试验，得出结果，在汽车行业总能耗中，汽车运行 时能耗约占 78.3%，而生产能耗仅占 21.7%。由此可发现，通过优化运行状态可以达到 降低行业总能。早在二十世纪七十年代末，西德 Bosch 公司的一个研究报告中就表 明，使用氧传感器催化系统，合理控制燃料燃烧过程，可以达到节油目的。因此，减少 污染和节约能源这两方面是汽车氧传感器在发展应用中的重要功效。 在极限电流型氧传感器中，由于致密扩散障碍层与电解质层的烧结温度不同， 所以为了解决共烧结不匹配这一问题，制备传感器的方法一般采用丝网印刷技术、 瓷片复合工艺等。但是由于电解质层与致密扩散障碍层无法直接接触，对传感器的 工艺要求较高，使传感器的传导无法取得良好的效果。为了解决这一根本问题，本 实验研究采用新型射频磁控溅射制备工艺，通过磁控溅射沉积系统将氧化钇稳定氧 化锆制备靶材直接溅射到 LSM 基体上，使 YSZ 颗粒在 LSM 基体上生长，形成一层 致密的 YSZ 氧敏薄膜，使致密扩散障碍层与电解质层在接触良好的同时进一步减小 氧传感器的厚度。 1 文献综述 1.1 汽车用氧传感器的应用 氧是汽车燃烧的过程中必不可少的元素，特别是针对其发动机来讲，空气燃料比 （A/F）是燃料燃烧是否充分的决定性因素。汽车排气管道内装有控制汽车发动机 A/F 所采用的氧传感器，根据废气中氧含量与 A/F 的对应关系可以测出废气中氧的含量和 A/F 的值。汽车控制系统根据氧传感器反馈的数值信号，对燃料的喷射量进行微调，将 A/F 控制在最佳状态，使得汽车的排污量大幅降低，并有效节约了能源。 近年来，对控制汽车氧传感器的 A/F 的研究主要集中在理论 A/F 处。汽车氧传感器 的装置内部氧分压的变化会引起氧传感器输出电压在理论 A/F 附近发生急剧波动，这种 特性可适用在三元催化系统中。在 Volvo 首次应用了这种系