《压电式传感器》课件.pptVIP

2002/12总结 第6章 压电式传感器 压电式传感器是一种有源的双向机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1680年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质表面产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 6.1 压电效应 某些晶体或多晶陶瓷，当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。上述现象称为正压电效应。反之，如对晶体施加一定变电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应。 6.1 压电效应 6.1 压电效应 6.1.1 石英晶体的压电效应 6.1.1 石英晶体的压电效应 晶体沿Y轴方向施加压力时，见图（c）。p1增大，p2、p3减小，合偶极距向下，因此上表面为负电荷，下表面为正电荷，同理在Y、Z方向不产生压电效应，无电荷出现。 对于压电晶体，沿X轴施加正应力时，将在垂直于X轴表面产生电荷，这种现象称为纵向压电效应。 沿Y轴施加正应力时，电荷将出现在与X轴垂直的表面上，这种现象称为横向压电效应。 沿X轴施加切应力时，将在垂直于Y轴表面产生电荷，这种现象称为切向压电效应。 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，压电机理与压电晶体不同。它是以钛酸钡（BaTiO3）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3等为基本成分，通过粉碎、成型，1000℃以上烧结得到多晶体。材料内部的晶粒有许多自发极化无规则排列的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 为使其具有压电性，就必须在一定温度下进行极化处理。所谓极化，就是以强电场使“电畴”规则排列，从而呈现压电性。极化电场去除后，电畴基本保持不变，余下了很强的剩余极化。 当极化后的铁电体受到外力作用时，其剩余极化强度会发生变化，从而使一定表面分别产生正负电荷。 高分子材料属于有机分子半结晶或结晶的聚合物，其压电效应比较复杂。高分子材料经机械滚压和拉伸会成为薄膜，薄膜经延展拉伸和电场极化后，具有一定的压电性能，这类薄膜称为高分子压电薄膜。目前出现的压电薄膜有聚二氟乙烯PVF2、聚氟乙烯PVF、聚氯乙烯PVC、聚γ甲基-L谷氨酸脂PMG等。高分子压电材料是一种柔软的压电材料，不易破碎，可以大量生产和制成较大的面积压电元件。 压电元件受到力F作用时，就在相应的表面产生表面电荷Q，力F与Q之间存在以下关系 压电常数中下角标i表示晶体的极化方向。当产生电荷的表面垂直于x轴(y轴或z轴)时，记为i=1(或2或3)。 下角标j=1，2，3，4，5，6，分别表示沿x轴、y轴、z轴方向的单向应力和在垂直于x轴、y轴、z轴的平面 (即yz平面、zx平面、xy平面)内作用的剪切力。 当晶体在任意受力状态下产生的表面电荷密度可由下列方 程组决定： 　　　　　(6-3) 式中，qxx、qyy、qzz－垂直于x轴、y轴、z轴的平面上的电荷面 密度；?xx、 ?yy 、 ?zz—沿着 x轴、y轴、z轴的单向应力； ?yz 、 ?zx 、 ?xy—垂直于x轴、y轴、z轴的平面内的剪切应力； dij(i＝1，2，3，j＝1，2，3，4，5，6)—压电常数。 压电材料的压电特性的压电常数矩阵： 压电常数矩阵物理意义 矩阵每一行表示，压电元件分别受到X、Y、Z向正应力及YZ、ZX、XY平面内剪切力作用时，相应地在垂直于X轴、Y轴和Z轴表面产生电荷的可能性和大小。 若矩阵中某一dij＝0，则表示在该方向上没有压电效应，这说明压电元件不是任何方向都存在压电效应。 对于石英晶体来讲，当石英晶体承受机械力作用时，可通过dij将五种不同的机械效应转换为电效应，也可以将电效应转换为五种不同模式的振动。 根据压电常数绝对值大小可判断在哪几个方向作用时，压电效应最显著。 6.2 压电材料 选用合适的压电材料是设计高性能传感器的关键。一般应考虑以下几个方面： ①转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数； ②机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高、机械刚度大。以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率； ③电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期望减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性； ④温度和湿度稳定性要好：具有较高的居里点、以期望得到宽的工作温度范围； ⑤时间稳定性：压电特性不随时间蜕变。 6.3 等效电路 压电式