半导体材料应用技术及发展前景教学讲义.pptVIP

原题目：半导体材料应用技术及发展前景半导体材料对集成电路圆片成品率的影响;氮化硅/氧化膜;芯片与集成电路;? ;二、集成电路芯片成品率的重要性; 3、硅片有效利用面积：从客户的角度，希望拿到有效利用面积比较大的圆片，这也是晶圆尺寸越来越大的原因之一。 由右图可以看出，硅片直径越大，有效利用面积的百分比越大。 圆片成品率越高，意味着可以充分利用圆片的有效利用面积，尤其对于小尺寸圆片，意义更为重大。;（二）工艺技术需求 1、单项工艺：工艺复杂，技术含量高，为保证产品的成品率，必须每道工序精确控制； 2、工艺流程长：从投片到产出经过几百道工序，经历几个月的时间，只要有一道工序有问题，则前功尽弃，除光刻工序外，其它几乎无返工的机会，可见，成品率就显得尤为重要。 ;（三）成本需求 1、投资大：设备基本是进口； 2、运行成本高：动力运行成本，保证车间恒温恒湿和高洁净度的维护成本； 3、材料成本：尤其是硅片成本。 　　从以上客户、工艺技术和成本需求分析可以看出，提高集成电路圆片成品率的意义特别重大，是集成电路制造企业最重要的质量指标。 成品率除了与工艺技术和生产控制有关外，制造过程中使用的各种材料的质量情况对成品率的提升有重要影响。;（一）硅片的内在质量;（二）线条的影响 1、光刻线条的影响因素： （1）光刻胶： 　分辨率：图形的分辨能力 　DOF特性：光刻机焦距的容忍度 　水份：产生表面缺陷，如：气泡 　固体含量：显影效果 　粘度：胶厚度及均匀性 （2）显影液： 　成分的稳定;;2、蚀刻线条的影响 （1）湿法蚀刻 　　化学品的纯度 　　配比的精度：如 BOE/PAE/PAD 　　表面张力 （2）干法蚀刻 　　气体的纯度 　　气体成分的稳定性;（三）颗粒的影响;（四）金属离子;（五）静电的影响;静电的来源：摩擦 主要产生于： （１）人员的动作：鞋与地板、衣服间的摩擦、操作动作产生的摩擦等； （２）硅片与夹具、硅片与片舟、片舟与片盒，器具与工作台、设备手臂移动硅片等。 　　车间的摩擦无所不在，无时不有，如果产生的??电积累于硅片，对产品有致命的影响。 　　所以，车间使用的材料和器具必须可以防静电产生或者可以有效释放静电。;;　谢　 谢 !!