电子工厂 晶圆厂 tft 厂 面板厂 厂务系统概述.ppt.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 厂务系统概述 0.电子厂名言 0.电子厂名言 唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定 所以~接下来介绍的在现场都不是绝对的~ 1.厂务系统功能 1.1水系统在制程中的功能 PCW 制程冷却水 制程机台冷却 UPW/DIW 超纯水 补水/清洗/稀释 Chill Water 冰水 冷却用冷源/空调用冰水 RW 回收水 DI回收/冷凝回收/再生使用 CW 自来水 原水/一般用水 1.2气体系统在制程中的功能 CDA 压缩干燥空气 搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 GN2 一般氮气 Purge/CDA Backup/洁净冲吹 PN2 纯化氮气 Purge/空间填充/超洁净冲吹 其他B-GAS 大宗气体 制程需求/Purge/空间填充/超洁净冲吹 S-GAS 特殊气体 制程Chamber填充需求/干蚀刻制程需求 1.3化学系统在制程中的功能 Chemical 化学药品 清洁清洗/湿式蚀刻制程需求 1.4真空系统在制程中的功能 PV 制程真空 基板吸引般移 HV 清洁真空 尘屑吸引清洁/真空吸笔 Pump Line 制程高真空 Chamber制程转换之高真空建立 Exhaust 排气系统 Chamber制程转换之废气排除 Drain 排水系统 机台制程使用之废DI/Chemical排放 1.5排气/排水系统在制程中的功能 2.厂务系统使用材质 2.1水系统使用材质 PCW 制程冷却水 SUS 304禁油处理/高压软管 UPW/DIW 超纯水 CPVC/PVDF/PFA Tube Chill Water 冰水 SUS 304 RW 回收水 SUS 304 CW 自来水 SUS 304 CDA 压缩干燥空气 SUS 304L AP/BA/316L BA GN2 一般氮气 SUS 316L BA/EP PN2 纯化氮气 SUS 316L EP 其他B-GAS 大宗气体 SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP) S-GAS 特殊气体 SUS 316L EP/双套管/加热套 2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管) 2.3化学系统使用材质 有机类 化学药品 例如溶剂类→SUS 316 BA 一般酸碱 化学药品 例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC 其他 化学药品 CPVC/PFA/PVDF/PTFE 2.4真空系统使用材质 PV 制程真空 PVC SCH80/SUS 304 HV 清洁真空 PVC SCH80/SUS 304 Pump Line 制程高真空 SUS 316 BA/EP GEX 一般排气 镀锌螺旋风管 2.5排气系统使用材质 Solvent 有机排气 SUS 304全焊式不锈钢风管 Acid/Ak 酸碱排气 不锈钢Teflon Coating风管(Tefpass) 2.6排水系统使用材质 Drain 一般排水 PVC/PVC SCH80 Solvent 有机排水 SUS 304不锈钢管 Acid/Ak 酸碱排水 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA 3.厂务系统流程 3.1制程冷却水系统简略流程 原水补水 膨胀水箱 冰水出 冰水进 板 热 制程管线 机台冷却 进水 回水 3.2冰水系统简略流程 冷却水塔 MAU 冰水出 冰水回 大 气 冰水主机 冷媒循环 RCU AHU 其他空调箱 DCC 板 热 冷却水 3.3纯水系统简略流程 City Water 自来水 DM Filter 去除钙镁 Decarbonator 去除CO2 WA Tower 去除碳酸钙 SA Tower 去除碳酸钙 RO Tank RO进水槽 Heat Exchange 热交换器 UV Sterilizer 紫外线杀菌 Safety Filter 过滤器 RO Unit 逆渗透膜 Permeate Pit 逆渗透底槽 Mixed Bed 去除SiO2 Membrane Degasifier 去除O2 UPW Tank 纯水储槽 Cooler 冷却器 UV Oxidizer 破坏有机链 UF Unit 超限过滤膜 H2 UPW Tank 纯水储槽 H2 Cooler H2冷却器 H2 M.D. H2去除膜 H2 Desolve Membrane H2除溶膜 H2W UF Unit 超限过滤膜 P.O.U 使用点 回水 回水 3.4自来水/回收水系统简略流程 自来水外管 水表/隔离阀 供应管线 使用点 自来水 空气中水份 冷盘/空调箱 回收管线 回收水槽 回收水 使用点 3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程 CDA GN2/PN2 大气 空压机 蓄压槽