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第9章 半导体传感器 9.1 气敏传感器 9.2 湿敏传感器 9.3 色敏传感器 2 一、气敏传感器 气敏传感器可以识别气体的类别，测定气体的浓度和成分，多用于检测气体中所含某种特定气体的成分，将其变成电信号。 气敏电阻是一种半导体敏感器件，它是利用气体的吸附而使半导体本身的电导率发生变化这一机理来进行检测的。人们发现某些氧化物半导体材料如SnO2、ZnO、Fe2O3、MgO、NiO、BaTiO3等都具有气敏效应。 1、半导体气敏传感器的工作机理： 3 气体敏感元件，大多是以金属氧化物半导体为基础材料。当被测气体在该半导体表面吸附后，引起其电学特性(例如电导率)发生变化。 气敏传感器气敏元件的工作原理十分复杂，有不同的解释模型。 目前流行的定性模型是：原子价控制模型、表面电荷层模型、晶粒间界势垒模型。 4 半导体气敏传感器的类型可分电阻型和非电阻型两大类。电阻型有表面电阻型如氧化锡（SnO2）、氧化锌（ZnO）等和体电阻型（Fe2O3）系列；非电阻型有MOS场效应管型、二极管型（表面电流型——氢敏传感器）和固体电解质型。 2、半导体气敏传感器分类： 按制造工艺上分烧结型、薄膜型、厚膜型。  薄膜型气敏元件采用真空镀膜或溅射方法, 在石英或陶瓷基片上制成金属氧化物薄膜（厚度0.1μm以下）, 构成薄膜型气敏元件。  5 厚膜型气敏元件将气敏材料（如SnO2、ZnO）与一定比例的硅凝胶混制成能印刷的厚膜胶。 工艺最成熟的是烧结型。烧结型气敏元件将元件的电极和加热器均埋在金属氧化物气敏材料中, 经加热成型后低温烧结而成。 目前最常用的是氧化锡（SnO2）烧结型气敏元件, 它的加热温度较低, 一般在200～300℃, SnO2气敏半导体对许多可燃性气体, 如氢、 一氧化碳、 甲烷、丙烷、乙醇等都有较高的灵敏度。 6 半导体气敏传感器的结构如下图所示。 一组为工作电极，另一组为加热电极兼工作电极。 7 半导体气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。 8 当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力(气体的吸附和渗透特性)时， 吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附， 半导体表面呈现电荷层。例如氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体或电子接收性气体。 如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气体或电子供给性气体。 9 当氧化型气体吸附到N型半导体上，还原型气体吸附到P型半导体上时，将使半导体载流子减少，而使电阻值增大。当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。 10 下图表示了气体接触N型半导体时所产生的器件阻值变化情况。 图 N型半导体吸附气体时器件阻值变化图 11 由于空气中的含氧量大体上是恒定的， 因此氧的吸附量也是恒定的，器件阻值也相对固定。若气体浓度发生变化，其阻值也将变化。根据这一特性，可以从阻值的变化得知吸附气体的种类和浓度。半导体气敏时间(响应时间)一般不超过1min。N型材料有SnO2、ZnO、TiO等，P型材料有MoO2、CrO3等。 12 气敏元件工作时必须加热，其目的是： 加速被测气体的吸附、脱出过程； 烧去气敏元件的油垢或污垢物，起清洗作用； 控制不同的加热温度能对不同的被测气体具有选择作用。 加热温度与元件输出的灵敏度有关。如右图所示。 13 气敏元件一般工作在200～400℃的高温。为气敏元件提供必要工作温度的加热电路的电阻(指加热器的电阻值)称为加热电阻，用RH表示。直热式的加热电阻值一般小于5Ω；旁热式的加热电阻大于20Ω。 气敏元件正常工作所需的加热电路功率，称为加热功率，用ＰＨ表示。一般在(0.5～2.0)W范围。 14 烧结型气体传感器的结构与符号 烧结型气体传感器的加热方式分为直热式和间热式两种,其结构与符号如图所示。 直热式的加热丝兼作电极。其结构简单、成本低、功耗小；但热容量小，易受环境气流影响；因加热丝热胀冷缩，易使之与材料接触不良；在测量电路中，信号电路和加热电路相互干