电化学沉积过程中的智能控温磁力搅拌技术研究-机械工程专业论文.docx

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究 工作所取得的成果。除文中已注明引用的内容以外，本论文不包含任何其他个人 或集体已经发表或撰写过的作品成果，也不包含为获得江苏大学或其他教育机构 的学位或证书而使用过的材料。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已 在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 江苏大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆、中国学术期刊（光盘版） 电子杂志社有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档，可以采用影印、 缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致， 允许论文被查阅和借阅，同时授权中国科学技术信息研究所将本论文编入《中国 学位论文全文数据库》并向社会提供查询，授权中国学术期刊（光盘版）电子杂 志社将本论文编入《中国优秀博硕士学位论文全文数据库》并向社会提供查询。 论文的公布（包括刊登）授权江苏大学研究生处办理。 本学位论文属于不保密□ 。 学位论文作者签名： 指导教师签名： 年 月 日 年 月 日 江 苏 大 学 硕 士 学 位 论 文 要 随着现代高科技技术的发展，电化学沉积技术的研究不断深入，其应用领域 也越来越广泛，而在电化学沉积试验过程中溶液温度与搅拌技术对其效果起着决 定性的作用，因此本研究旨在设计和探索一种在电化学沉积过程应用的智能控温 磁力搅拌技术，推动电化学沉积技术获得更新更快的发展。 普通搅拌技术用老式温度传感器测温，不但精度差，测量温度范围窄，且价 格很高，使用麻烦。本文针对电沉积试验准确控制溶液温度和均匀搅拌的需要， 研究了智能控温型磁力搅拌技术，与普通搅拌技术相比较，主要工作内容包括以 下三个方面：首先是测温与控温方式的改变，我们研究的搅拌技术采用 PT100 采 集温度，温度采集范围从-200 度到 600 度，程序自动对温度进行线性校准，程 序通过 AD 将模拟温度信号转换成数字信号后查表得到温度值，温度精度值高， 而控温采用的是智能 PID 控温，温度过冲很小，恒温精度高。其次是高精度转速 控制的改变，我们研究并设计的搅拌技术通过槽型光耦测量电机的转速，这也是 设计中的一大亮点，有低成本高精度的优点。而且这种新型搅拌技术可以按照实 际测量的转速精确控制搅拌速度，真正实现精确控温精确控速的智能搅拌技术。 最后是单片机方式的改变，设计中采用 C8051F350 为核心控制芯片，这款芯片内 部集成 AD 和 DA，功能强大，同样频率处理速度是普通 51 单片机的 10 倍。在设 计和研究过程中，将智能磁力搅拌技术与普通搅拌技术进行了对比试验，通过对 试验数据的多次分析和反复优化，实现了对电沉积溶液温度和搅拌速度的精确控 制，实用性能得到了显著提高。 本文以电沉积溶液搅拌技术的实用及智能化入手，从控温、转速以及核心控 制芯片三个方面研究了智能控温磁力搅拌技术，并与现有搅拌技术相比较，进行 多次试验，记录每次试验结果，对统计数据进行分析优化，最终实现了智能、精 确、实用的电沉积溶液控温搅拌技术。 关键词：PID 控温，槽型光耦，磁力搅拌，智能控制 I 电化学沉积过程中的智能控温磁力搅拌技术研究 II 江 苏 大 学 硕 士 学 位 论 文 ABSTRACT With the development of modern high-tech technology, with the current rapid development of electrochemical deposition techniques, its application field is becoming more and more widely. In the experiment of electrochemical deposition. temperature and stirring technology plays an decisive role in the effect, therefore, this study aims to design and research intelligent temperature magnetic stirring technique in the application of electrochemical deposition process to get electrochemical deposition technology to update faster development. Common mixing t