低损耗铌酸锆镁基中介微波介质陶瓷的制备与性能的研究-材料科学与工程专业论文.docx

万方数据 万方数据 A Dissertation Submitted for the Degree of Master Preparation and Properties of Low-Loss MgZrNb2O8-Based Mid-Permittivity Microwave Dielectric Ceramics By Cheng Ying Hefei University of Technology Hefei, Anhui, P.R.China 04, 2014 合盟工业大学 本论文经答辩委员会全体委员审查?确认符合合肥工业大 学学历硕士学位论文质量要求。 答辩委员会签名(工作单位、职称 飞 姓名) 主席: ι庐门! ι庐门! / ( 。 4口 交贝: 合肥工业大学材料料科学与工程学院，教授以毛 合川盯料附明学院，教授?斜 合肥工业大学材料料科学与工程学院教授，信又跑 制币:阳业盯料阳叮学院教授士比 万方数据 万方数据 万方数据 特别说明 本学位论 文是我 在导 师的指导 下独立 完成 的。在 研究生 学习期 间，我 的 导师要求 我们坚 决抵 制学术不 端行为 。在 此，我 郑重声 明 ，本 论文无任 何学 术不端行 为，如 果被 发现有任 何学术 不端 行为，一 切责任 完全 由本人承 担。 学 位论文 作者签名 ： 签 字日期 ： 年 月 日 59 致 谢 本论文是在导师左如忠教授的指导下完成的，导 师 严 谨 求 实 的 治 学 风 范 、 渊博的学 识、一丝不 苟的工作 态度都 给我 留下了深 刻的印 象，并使我在 平时 的工作与 生活中 受益 匪浅，是我所 学习的 榜样 。本课题从选题到设计及论文的 撰写，都凝聚着左老师的一片心血，左老师缜密的科研思路和对科学事业的执著 追求无时无刻不在感染和激励着我，使我受益终身。在此，我向左老师表示最衷 心的感谢和最诚挚的敬意！ 三年的研究生生活是我人生中的转折点，也是我的一笔宝贵财富。难忘同学 情，感谢我的同学易海峰、余良平、杨菲菲，三年来的共同学习、生活给了我很 多的帮助与欢乐，从他们身上我感受到了朋友的坦诚、友爱与互助。感谢我的师 兄吕洋、付建、苏石、刘义、赵万里、齐世顺、刘隆冬、左文武，师姐吕丹亚， 师弟张天文、李峰、祁核、师妹张健等，他们在实验和学习上给了我很多帮助， 生活上给了我很多快乐。 感谢我的父母、女友及亲人们，正是你们 最 无私的爱、一如既 往 的支持和 默默的奉 献包容，我 才能得以 完成学 习 。在我的学习路上一直得到他们的支持， 衷心祝愿他们身体健康，快乐平安。 真诚的感谢给予我帮助的所有同学和朋友们，祝愿他们学业有成，工作顺利， 幸福美满。 感谢各位导师，教授对本论文的审阅和赐教！ 作者：程迎 2014 年 03 月 28 日 I 摘 要 微波介质陶瓷是被应用在微波频段电路中作为介质使用并完成多种功能的材 料，因其具有体积小、损耗低及温度稳定性好等优点被广泛用于制作谐振器、滤 波器、介质天线等微波器件。本文对黑钨矿结构 MgZrNb2O8（MZN）陶瓷微波介 电性能进行报道，然后研究了添加不同含量的 TiO2 来调节 MgZrNb2O8 的温度系数 及 A 位 Zn2+离子取代形成固溶体来提高品质因数，并通过 XRD、EDS、SEM 及微 波介电性能测试等研究了 MZN 基微波介质陶瓷材料的烧结工艺、相结构、微观结 构与介电性能之间的关系。主要研究内容如下： 首 先 ， 通 过 传 统 的 固 相 法 制 备 出 了 MgZrNb2O8 微波陶瓷材料，并在 1280-1360 ℃烧结得到致密陶瓷样品。通过 XRD 分析在不同的的烧结温度下都显 示出单一的黑钨矿结构。并系统的研究了微结构与性能的关系，发现当烧结温度 低于 1340 ℃时，品质因数主要依赖于相对密度。当烧结温度高于 1340 ℃时，品 质因数主要取决于晶粒的微观形貌。最终发现在 1340 ℃保温 4h 时具有最佳介电 性能：εr=26，Qxf=120816 GHz ( f=6.85 GHz），τf=-50.2 ppm/oC。这结果表明该材 料在高频的谐振器、滤波器中具有潜在的应用价值。 其次，制备出了(1-x)MgZrNb2O8-xTiO2 陶瓷材料，研究不同含量的 TiO2 对 MZN 微波介电性能的影响。通过 XRD 发现不同含量的 TiO2 材料的相结构可以分为四 个区域分别为：黑钨矿结构，锰钽矿结构，锰钽矿与金红石复相结构及金红石结 构，通过 SEM 分析在 1300 ℃烧结温度下(1-x)MgZrNb2O8-xTiO2 的样品显微形貌发 现烧结比较致密，基本无气孔，但不同相结构区间晶粒形貌有所不同。然后还研 究了相结构、致密化程度、微观形貌