稀土磁致伸缩薄膜pt课件.pptVIP

XXXXXXXX2010.5.25 目录 ☆二 应用领域 ☆三 研究现状 ☆一 简介 ☆四 前景展望 一、简介 稀土超磁致伸缩薄膜材料是以稀土超磁致伸缩材料为靶材而制备的一种功能薄膜，包括(Tb，Dy)Fe薄膜和Sm-Fe薄膜等。 稀土超磁致伸缩薄膜比基体材料位移量大 主要特点 器件微型化 元器件的驱动是无接触式，靠外加磁场驱动 磁各向异性小、磁滞后小、共振频率高等 二、应用领域 1、在控制系统中的应用 目前，对包括微管道、微阀、微流量计、微泵等元件的微流量控制系统的研究已经成为微机械研究的热点之一，而功能薄膜型超磁致伸缩微驱动器的出现，又为微流体元件的驱动提供了一个新方法。如利用磁致伸缩效应实现对阀门的阀口进行控制等。 二、应用领域 2、在线性超声微马达中的应用 稀土超磁致伸缩功能薄膜材料的应变大，频率相应快，磁滞后小，因此被应用于线性超声微马达中。用稀土超磁致伸缩功能薄膜制备的线性超声微马达由(100)晶向硅晶片基板和具有正磁致伸缩效应的Tb-Fe功能薄膜制成。 二、应用领域 3、在微型行走机械中的应用 随着微型化的发展，行走机械的能源供给问题现在还没有有效的解决方法，并成为开发微小行走机械的难关。作为该能源供给问题的一个解决方法，便是利用非接触式驱动的超磁致伸缩功能薄膜型微驱动元件。它的工作原理是利