关于激光平面干涉仪平晶面形测量系统.pdf

硕士论文 基于激光平面干涉仪的平晶面形测量系统 摘 要 在光学冷加工领域，平晶是常用到的计量器具，而平面度是其参数指标中极其重要 的一个环节。作为测量标准其本身的平面度指标需具备良好的精度。在我国现行的计量 领域还主要依靠人工目视测量，采用光圈公差(Ⅳ)和局部光圈公差(△，Ⅳ，△，Ⅳ)来表征。 这种测量方式的判读效率以及结果精度已经远远不能满足经济社会发展的速度需求。 本项目是基于PGl5．J4型激光干涉仪改造后的平台完成的。结合了CCD图像传感 技术以及计算机图像处理，不仅提高了测量的自动化程度而且也提高了指标精度。论文 中首先介绍了平晶的相关理论知识以及光学干涉理论，并介绍了几种主要的检定方法， 最后确定等厚干涉法为最佳，接着完成了对PG．15J4型激光干涉仪自动判读改进，包括 光源，CCD等关键零件的装配。然后将数字相机采集的图像进行处理，包括获取背景， 线性对比度展宽，条纹与背景的相减处理，图像滤波，二值化等等，最终获得单像素条 纹。根据JJG28．2000规定的判读法计算出平面度指标。最终的结果通过对比表明符合 计量检定规程JJG28—2000的要求。从而达到了预先的既定目标即提高检定效率的同时 也保证了测量精度。 关键词：平面度，光圈公差，激光干涉仪，图像处理 AbstraCt Intraditionalcold fleld．F1atisa optical processing used com瑚onlymeasuring instrument．So fla恤essis ofits bea Veryimportant parameters．TbmeaSuringstalldard，its oWnflamessindex to needbe onvisualmeasurement Veryprecise．We inour al、vaysrely cun℃nt me廿icfield． toler觚ces Usingapernlre (Ⅳ)and t01erances panialaperture charact面zethena缸1ess．But此le (△IⅣ，△2Ⅳ)to a11d of this callnot e塌ciencyaccuracyway meetthedemaJldofeconomic andsocial developmentsDeed． The isbaSedon the仃ansfomation prqect oflaserinterferometernanled PGl5。J4．Itisa combinationofC