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CMOS MEMS應用三軸 CMOS MEMS新製程簡介 Speaker: Jing-Wen Shih Outline MEMS簡介 MEMS應用舉例 優點 動機 製程 設計 文獻回顧 目標 ＭＥＭＳ MEMS(MicroElectroMechanical System)：簡稱微機電系統技術 定義(美)：稱為微機電系統，其定義為整合的微元件或系統，包含利用IC相容批次加工技術製造的電子機械零件，其元件或系統的大小僅微米到毫米。 MEMS應用舉例 “AccuMicroMotion” for physiological activity monitoring is proposed for detecting motions in six degrees of freedom. Recent advances in micromachining technology have made the design and fabrication of micro-electromechanical-systems (MEMS) acceleration sensors more affordable. CMOS MEMS整合感測優點 1.直接將感測得到的訊號直接在晶片上做直接的處理，可提升的讀取及準確性。 2.CMOS與MEMS構成的單體整合，可