深振荡磁控溅射复合沉积CrNTiN超晶格薄膜结构和性能.PDFVIP

第47 卷 增刊1 稀有金属材料与工程 Vol.47, Suppl.1 2018 年 7 月 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING July 2018 深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN 超晶格薄膜 的结构和性能 1,2 1 2 欧伊翔 ，潘 伟 ，雷明凯 (1. 清华大学 新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084) (2. 大连理工大学 表面工程实验室，辽宁 大连 116024) 摘 要：分别采用深振荡磁控溅射（deep oscillation magnetron sputtering,