电子工业用高纯氢氟酸-有色金属标准质量.DOCVIP

CNIA/T XXXX-201X T/CNIA XXXX-201X PAGE I FORMTEXT 中华人民共和国工业和信息化部201X-XX-XX 实施201X-XX-XX 发布电子工业用高纯氢氟酸Hight purity hydrofluoric 201X-XX-XX 实施 201X-XX-XX 发布 电子工业用高纯氢氟酸 Hight purity hydrofluoric acid for electronic industry （讨论稿） T/CNIA XXXX-201X i T/CNIA 中国有色金属工业协会标准 ICS 77.040 H 17 中 国 有 色 金 属 工 业 协 会 中 国 有 色 金 属 学 会 发布 中 国 有 色 金 属 工 业 协 会 中 国 有 色 金 属 学 会 发布 前 言 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。 本标准由XXXXXXX提出并归口。 本标准负责起草单位：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司，XXXXX。 本标准主要起草人：xxxxx。 本标准系首次发布。 CNIA/T XXXX-201X PAGE \* MERGEFORMAT 1 电子工业用高纯氢氟酸 1 范围 本标准规定了电子行业用高纯氢氟酸的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和储存及安全。 本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志。 GB/T 191-2008 包装储运图示标志。 GB/T 6678 化工产品采样总则。 GB/T 6680 液体化工产品采样通则。 GB/T 6682-2008 分析实验室用水规格和试验方法。 GB/T 8170 数值俢约规则与极限数值的表示和判定。 HG/T 4509-2013 工业高纯氢氟酸。 HG/T3696.1 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第1部分 ：标准滴定溶液的制备。 SEMI C1 液体化学药品的分析指南。 SEMI C28-0611 氢氟酸的详细说明和指导。 分子式和相对分子质量 分子式：HF 相对分子质量：20.01（按2011年国际相对原子质量） 电子工业用高纯氢氟酸按用途分为四个等级。 电子Ⅱ级：主要用于在电子行业生产线上用来大规模的清洗电子级产品。 电子Ⅰ级：主要用于多晶硅实验室内小批量电子级样品的酸洗，多晶硅生产过程中对中间产品氯硅烷的检测分析、太阳能级产品的检测分析等。 超纯Ⅱ级：主要用于多晶硅实验室内电子3级品和太阳能1级品的检测分析、太阳能级包装袋中金属杂质的检测分析。 超纯Ⅰ级：主要用于多晶硅实验室内电子1级品和电子2级品的体表金属杂质的检测分析、电子级包装袋的金属杂质的检测分析等。 要求 5.1 外观：无色透明液体。 5.2 电子工业用高纯氢氟酸按本标准规定试验方法检测应符合表1技术要求。 表1 技术要求 规格 元素 电子Ⅱ级 电子Ⅰ级 超纯Ⅱ 超纯Ⅰ 主含量(HF) 48.8%-50.2% 48.8%-50.2% 48.8%-50.2% 48.8%-50.2% 外观 透明无色 透明无色 透明无色 透明无色 氯化物（Cl-） ≤5000ppb ≤200ppb ≤100ppb ≤100ppt 硝酸根（NO3-） ≤3000 ppb ≤100 ppb ≤100 ppb ≤100 ppt 磷酸根（PO43-） ≤1000ppb ≤100ppb ≤100ppb ≤100ppt 硫酸根（SO42-） ≤500ppb ≤200ppb ≤100ppb ≤100ppt 铝（Al） ≤10ppb ≤1ppb ≤100ppt ≤10ppt 锑（Sb） ≤10ppb ≤1ppb ≤100ppt ≤10ppt 砷（As） ≤10ppb ≤1ppb ≤100ppt ≤10ppt 钡(Ba) ≤10ppb ≤1ppb ≤100ppt ≤10ppt 硼(B) ≤10ppb ≤1ppb ≤100ppt ≤10ppt 镉（Cd） ≤10ppb ≤1ppb ≤100ppt ≤10ppt 钙（Ca） ≤10ppb ≤1ppb ≤100ppt ≤10ppt 铬（Cr） ≤10ppb ≤1ppb ≤100ppt ≤10ppt 铜（Cu） ≤10ppb ≤1ppb ≤100ppt ≤10ppt 铁（Fe） ≤10pp