热丝化学气相沉积法制备多晶硅薄膜资料.docVIP

PAGE PAGE 1 - .-- 目 录 摘要……………………………………………………………………………………1 关键词…………………………………………………………………………………1 一、引言……………………………………………………………………………… 1 二、实验……………………………………………………………………………… 2 三、结果与讨论……………………………………………………………………… 2 （一）、薄膜的制备………………………………………………………………… 2 （1）积气压对硅薄膜质量的影响………………………………………………… 2 （2）比例对薄膜成分的影响……………………………………………………… 3 （二）晶硅薄膜的制备………………………………………………………………4 （1）丝温度对薄膜晶相的影响…………………………………………………… 4 （2）SiH4流量对成膜质量的影响……………………………………………………6 （三）沉积机制的探讨………………………………………………………………7 四、结论………………………………………………………………………………7 参考文献…………………………………………………………………………… 9 致谢………………………………………………………………………………… 10