高分辨LCOPA相移分布自动检测方法分析-电子与通信工程专业论文.docxVIP

RESEARCH OF AUTOMATICALLY HIGH RESOLUTION DETECTION METHOD FOR LCOPA Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Electronics and Communication Engineering Author: Suo Guo Guo Advisor: Prof. Huang Zi Qiang School: Research Institute Electronic Science and Technology of UESTC 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘要 摘要 I I 摘 要 随着激光技术的快速发展，液晶光学相控阵（LCOPA）已经成为波控技术中 的代表之一，作为一种实时可编程的电控波束扫描技术，具有其他技术无可匹敌 的优势：功耗低、重量轻、控制灵活等。但其在最大偏转角度、效率以及有效孔 径等方面均有明显不足。目前的相位差检测只是针对均匀相控器件，而有效检测 液晶相控阵器件的二维相位差分布情况，可以为其进一步发展或应用提供依据。 本论文以液晶相控阵器件的二维相位差高分辨检测为目的，利用常规四分之 一波片法的检测优势，研究光路中数据采集技术以及正弦曲线形式的数据处理算 法，提出了傅里叶四分之一波片法。该检测法对 1/4 波片、液晶相控阵器件进行了 实验分析，实现了二维相控器件的二维高分辨检测。创新性地将图像处理算法运 用于二维相位差的匹配以及融合过程中，解决了液晶相控阵器件的大视场检测问 题。主要研究内容如下： 1）基于常规四分之一波片法，通过添加显微物镜、CCD、步进电机等实现检 测自动化，并研究了 DFT 算法计算有效频率分量的最小值，提出了傅里叶四分之 一波片法。并对检测装置进行三维立体设计，提高检测可靠性。 2）以最小二乘法为基本原理的拟合算法与离散傅里叶算法在理论、仿真、检 测实验上进行了对比分析，离散傅里叶变换算法（DFT）具有较高的效率与精度。 运用傅里叶四分之一波片法分别对 1/4 波片、液晶相控阵器件进行了检测实验，1/4 波片法的平均检测误差小于 0.3°，检测液晶相控阵的二维相位差可得到 3μm 电极、 间隔子以及相位凹陷的具体影响。从而验证了傅里叶四分之一波片法在二维相位 差高分辨检测上的有效性。 3）运用图像处理算法中的 Hough 变换算法、Radon 变换算法、线性回归算法， 对二维相位差的倾斜角度问题进行了研究。理论上分析了临近插值算法、二维插 值算法、双三次插值算法实现相位差分布的无失真纠斜问题。针对二维相位差数 据的拼接问题，分别分析了基于区域的匹配算法与基于 Harris 特征的匹配算法， 解决匹配位置的计算问题，然后对比中值平均法等，采用了加权平均法对重叠区 域的数据融合处理，实现了拼接中的无缝合成。 关键词：激光技术，液晶相控阵，二维相位差检测 AB ABSTRACT Ⅱ Ⅱ ABSTRACT With the rapid development of laser technology, liquid crystal optical phased array (LCOPA) have been the representative of that and it is a kind of real-time programmable electronic beam scanning technology with incomparable advantages: low power consumption, light weight, flexible control, etc. But there are some obvious shortages of its