高功率横流CO2激光器三光桥谐振腔结构的设计与实验-光学工程专业论文.docxVIP

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高功率横流CO2激光器三光桥谐振腔结构的设计与实验-光学工程专业论文

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体 已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在文中以 明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名: 日期: 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保 留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本 人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索, 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□, 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名: 指导教师签名: 日期: 年 月 日 日期: 年 月 日 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 谐振腔作为激光器的核心组成部分,其支撑结构的稳定性决定了激光输出的稳定 性。论文为了解决原高功率横流 CO2 激光器外桥内腔结构输出功率不稳的问题,设计 出一种三光桥谐振腔支撑结构,并进行了性能分析与实验研究。论文的主要内容包 括: (1) 设计了以三光桥杆和两个大端板固连构成的三光桥谐振腔支撑结构。结构与 激光器真空箱体的支撑座相对独立连接,能有效避免因真空箱体扭曲变形给谐振腔支 撑结构带来额外的应力,使谐振腔保免受外力影响,只需保证三光桥杆稳定即能保证 谐振腔稳定。 (2) 用指示红光通过谐振腔的反射镜后返回红光的偏转情况对三光桥谐振腔支撑 结构的稳定性与安全性进行了测试。验证了谐振腔支撑结构与真空箱体支撑座间的相 对独 立性 , 真空 箱体 的 变形 不 会影 响谐 振 腔。 验证 了 在水 道并 联 、每 个水 道 流量 0.67m3/h,入水温度波动小于±0.5℃的情况下,光桥支撑结构在 10℃~25℃的环境下, 谐振腔也能保证相对的稳定。在常温水温度变化达到 15℃情况下三折腔红光实验中返 回红光最大偏移 1.5mm。 (3) 对三折腔和单腔进行对比测试实验。得到了激光器在三折腔和单腔下的输出 功率变化特 性,最大 功率不稳 定度分别 为± 3%和±1.9%, 并得到 了稳定的光 场模 式。进行谐振腔镜片冷却水温对输出功率波动影响的研究,发现冷却水温波动保持在 ±0.5 ℃的情况下,三折腔和单腔的功率的不稳定度都可以控制在±1%,证明三光桥 谐振腔支撑结构具有很好的应用前景。 关键词: 高功率 CO2 激光器 三光桥 谐振腔 三折腔 稳定性 II II Abstract As the core of the laser, the stability of the resonator determined the quality of output. In this dissertation, in order to solve the problem of the original high-power transverse flow CO2 laser that output power was instability, a new kind of three-pole bridges resonator was put forward for high stability. Theoretical and experimental researches were done. The main contents were classified as follows. The design of the resonator supported by three-pole bridges was composed of three poles and two end-plates, which separated the resonator from the vacuum box. This structure could effectively avoid distortions which was induced by the deformation of the vacuum box. Water of constant temperature flowed through the poles to keep their stability. Stability and security of three-pole bridges resonator was tested by detecting the offset of i

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