高功率脊形半导体激光器模式特性研究-光学工程专业论文.docxVIP

长春理工大学硕士学位论文原刨性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《高功率脊形半导体激光器模式特 长春理工大学硕士学位论文原刨性声明 本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《高功率脊形半导体激光器模式特 性研究》是本人在指导教师的指导下．独立进行研究工作所取得的成果e除文中 已经注明引用的内容外．本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的 作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标 明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 作者签名：三燕麦—!巫年』月—盟H 长春理工大学学位论文版权使用授权书 本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版 权使用规定”．同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕 士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学 位论文的复印件和电子版．允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以 将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索．也可采用影印、缩印 或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。 作者签名： 孑监—三堕上年—』月卫¨ 导师签名 Ⅻ年—L月l：日 ]摘 ] 摘 要 在半导体激光器的诸多应用中，都希望其基横模工作。在一定功率输出条件 下．如何宴现半导体激光嚣稳定的单模工作，仍然是半导体激光器设计和制作的 一个主要课题。 本论文首先综述了商功率半导体激光器的发展历程．综合分析了其模式特 性。进而利用有效折射率法隶解了脊形光波导半导体激光器的模式场分布，并运 用gatlab进行模拟。通过对这种波导模式的分析，进行了新型单横脊波导的设 计，提出了条宽8岫条形结构。分析了其潜在优点。同时为解决宽条形激光器 丝状发光问题，设计了增益导引锁相列阵激光器，提高了器件的模式特性。完成 了器件腔面膜的制备，并对湿法腐蚀工艺进行研究，得到了表面形貌较好的脊形 结构。 关键词：脊形半导体激光嚣湿法腐蚀Matlab ABSTRACTPundamema]Uomsverse ABSTRACT Pundamema]Uomsverse mode operadon js hoped for many imporiam applications of semiconductor lasers How to achieve a stable single mode semiconductor lasers with high power output is still a great challenge for device design and producdon Tiffs paper first re,k’iews the d目，elopment ofhlgh power semiconduc佃r las盯s a comprehensive analysis ofits modes．Based on the effective refractive index method is used to solve the ridge f01一fll ofa semiconduc把r laser optical waveguide mode field distribution andthen a ri以ewavegaidesemJeonducloTlasermodefield disbSbulionjs obtained by Matlab simulmion Through the analysis of this waveguide mode the design of single-mode ridge waveguide wa5 proposed for a new stripe structure with smipe width ofg／．tm Its advantages is an出ysed To solve wide strip laser filamentous luminescence is designed for gain guidance phase—locked mimba}l lasers improves the device ofmode characteristics Thepreparation ofthe device cavi“facet coming． and wet etching process for a better surface morphology ofthe ridge stripe device is sn埘led Keords：ridge semiconductor laser wet etching Matlab 目 目 录 摘 要 ABSTRACT 目 录