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实用标准文案 精彩文档 生物洁净室 定义 洁净室(Clean Room)，亦称为 HYPERLINK /item/%E6%97%A0%E5%B0%98%E5%AE%A4/766716 \t /_blank 无尘室或清净室。 生物洁净室 洁净室是空气 HYPERLINK /item/%E6%82%AC%E6%B5%AE%E7%B2%92%E5%AD%90/2850927 \t /_blank 悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最大限度减少房间进入的、产生的和滞留的 HYPERLINK /item/%E7%B2%92%E5%AD%90/81757 \t /_blank 粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控（ISO 14644-6） 洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。 世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。 美国联邦标准FS 209D都以英制每 HYPERLINK /item/%E7%AB%8B%E6%96%B9%E8%8B%B1%E5%B0%BA/6121628 \t /_blank 立方英尺为单位，日本则是采用 HYPERLINK /item/%E5%85%AC%E5%88%B6\t /_blank 公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。 控制项目 1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。 分类 3.1 乱流式（Turbulent Flow) 空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（ HYPERLINK /item/HEPA \t /_blank HEPA）进入 HYPERLINK /item/%E6%97%A0%E5%B0%98%E5%AE%A4/766716 \t /_blank 无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或 HYPERLINK /item/%E9%AB%98%E6%9E%B6%E5%9C%B0%E6%9D%BF/2498785 \t /_blank 高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之 HYPERLINK /item/%E4%B9%B1%E6%B5%81/7700450 \t /_blank 乱流或 HYPERLINK /item/%E6%B6%A1%E6%B5%81/620414 \t /_blank 涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别（ HYPERLINK /item/%E6%8D%A2%E6%B0%94%E6%AC%A1%E6%95%B0\t /_blank 换气次数越多，净化级别越高）。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。 优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用 HYPERLINK /item/%E6%97%A0%E5%B0%98%E5%B7%A5%E4%BD%9C%E5%8F%B0/1741321 \t /_blank 无尘工作台，提高无尘室等级。 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制 程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 3.2 层流式（Laminar) HYPERLINK /item/%E5%B1%82%E6%B5%81/2229875 \t /_blank 层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由 HYPERLINK /item/%E9%AB%98%E6%9E%B6%E5%9C%B0%E6%9D%BF/2498785 \t /_blank 高架