化学品供志气应系统简介.pptVIP

* Chemical Supply System化学品供应系统简介 课 程 大 纲 系统之目的 化学品之种类与用途 系统之基本要求 化学品供应质量要求 系统之流程图 CDU之流程图 TEE-BOX之构造 VMB之构造 SAMPLING BOX之构造 系统设备之材料要求 运转操作注意事项 系统之目的 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案 供应高纯度化学品以显影芯片图案 供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物 供应高纯度化学品以研磨芯片 供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件 化学品之种类与用途(一) 酸性: 腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4... 毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE... 碱性:NH4OH,KOH,Developer... 有机溶剂 易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液... 腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS... 氧化性:HNO3,H2O2... 化学品之种类与用途(二) 系统之基本要求 操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑 化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品 兼容 微粒子控制：过滤器循环过滤 满足最大需求流量：高浓度化学品如H2SO4、 H3PO4 自动控制操作运转：系统单元与机台界