marc60立式干涉超然仪主机说明书.docVIP

Marc-60-Ⅱ激光干涉仪 使 用 说 明 书 南京英特飞光电技术有限公司 2008年8月 Marc-60-Ⅱ激光干涉仪 使用说明书 PAGE 9 / SECTIONPAGES \* MERGEFORMAT 12 1 仪器简介 Marc-60-Ⅱ是由南京英特飞光电技术有限公司开发的菲索型立式激光干涉仪主机，外接图像显示器形成目视观察、判读条纹的光机型干涉仪（Marc-60），也可加装移相器、计算机等构成数字波面干涉仪（Hi-Marc-60）。 由于干涉仪对抗震要求较高，本仪器的光学系统应放置在有震动细微的硬质地面之上。 本仪器采用菲索干涉原理（图1），主机为立式，在图像接收光路中设置了空间滤波器来改善干涉图的质量；一个变倍系统可以放大干涉图以便观察小口径的被测件；电控的对点、测试切换使系统更稳定、调整更方便。高精度的标准参考反射镜保证了相对测量的准确度。 本仪器是本系列干涉仪在线批量检测性能最好的。测量光程为0-500mm，可配各种光学调整架和辅助光学部件形成各种光路进行平面、球面等的测试。可以配置光栅测长系统进行球面曲率半径测量；配置绝对检验软件，进行平面、球面、非球面的绝对检验，极大地提高测量准确度。 本仪器主要用途为： 平面面形测量（非镀膜表面、高反射率镀膜表面*） 小角度平行平晶的楔角测量 角反射器（锥体棱镜）角度误差/综合波差测量* 激光棒测量* 球面曲率半径测