原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第32 卷 第7 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 32 No. 7
2017 年7 月 Journal of Inorganic Materials Jul., 2017
文章编号: 1000-324X(2017)07-0744-07 DOI: 10.15541/ji
晶硅炉热场用碳材料在硅蒸汽中的腐蚀行为研究
1,2 1,2 1,2 1,2
施 伟 , 谭 毅 , 郝建洁 , 李佳艳
(1. 大连理工大学 材料科学与工程学院, 大连116024; 2. 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室, 大连 116024)
摘 要: 对晶硅炉热场用三种碳材料(石墨、C/C 复合材料、硬质碳毡)在不同腐蚀条件下进行了硅蒸汽腐蚀实验, 研
究了不同碳材料的硅化腐蚀行为。结果表明: 三种材料的结构组成不同, 导致三种碳材料在高温环境下与硅蒸汽发
生硅化腐蚀的程度不同, 硅蒸汽主要通过材料的孔洞以及缺陷扩散进入材料内部进行腐蚀, 腐蚀造成材料表面产
生大量的裂纹, 并且会造成 C/C 复合材料以及硬质碳毡材料内部严重的破坏。材料中碳纤维的存在方式以及纤维
强度对硅化腐蚀程度有较大影响, C/C 复合材料中的腐蚀主要是碳基体和碳纤维的剥离以及碳纤维的缩颈、劈裂等;
而由强度较差的短碳纤维为主要组成的硬质碳毡材料的腐蚀最严重, 其内部碳纤维出现了明显的碎断、粉化。腐蚀
参数对材料硅化腐蚀的程度具有较大影响, 随着腐蚀温度的升高以及腐蚀时间的延长, 三种碳材料的硅化腐蚀程
度均增加。
关 键 词: 碳材料; 硅化; 腐蚀行为; 腐蚀参数
中图分类号: TB332 文献标识码: A
Corrosion Behavior of Carbon Materials Used in Crystalline Silicon
Furnace in Silicon Vapor
SHI Wei1,2, TAN Yi1,2, HAO Jian-Jie1,2, LI Jia-Yan1,2
(1. School of Materials Science and Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China; 2. Key Laboratory
for Solar Energy Photovoltaic System of Liaoning Province, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China)
Abstract: The experimental of silicon vapor corrosion under different corrosion conditions were carried out on dif-
文档评论（0）