射频等离子体中绝缘基片上自偏压的研究-ResearchGate.PDFVIP

第26卷 第3期 真 空 科 学 与 技 术 学 报 2O06年 5、6月 CHINESEJOURNALOFVACUUM SCIENCEAND TECHNOLOGY 185 射频等离子体中绝缘基片上 自偏压的研究 潘永强 ， YYin2 (1．西安工业大学光电工程学院 西安 710032；2．澳大利亚悉尼大学物理系 Sydney，NSW 2O06) StudyonSelf-biasonDielectricSubstrateinRFPlasma PanYongqina g nadY．Yin2 f11．SchoolofPhowdectffcEngn／eedng，Xi’AnTechnologicalUniversity，Xi’An，710032，Chn／a；＼ ＼2．SchoolofPhysics，TheUnixcrstiyof蜘 ，NSW2OO6，Australia ， Abstract Self-biasvol