基于SOI的光学传感器的分析-光学工程专业论文.docxVIP

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 高亮 日期： 2013 年 6 月 14 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 高 亮 导师签名：王 卓 然 日期： 2014 年 6 月 14 日 摘 要 基于 SOI 的光学传感器以其不需要荧光标记、响应速度快、可测量物质种类 多、易于形成传感阵列实现分布式传感、传感灵敏度非常高、集成化成本低、稳 定性高、选择性好、抗电磁干扰强、结构紧凑便于实现光子集成等独特优点，使 得它在医学药品分析、食品安全控制、环境监测等诸多领域具有广泛的应用前景。 当前越来越多的科研人员参与光学传感器的设计中，各种传感器的设计理论在逐 步完善，相应的基于光学传感器的传感测量系统也在逐步成熟，并逐渐开始走向 商业化。本文旨在促进光学传感器产业的发展，有必要设计一些具备高性能传感 特性，同时有助于实现光子集成的光学传感器。本文以基于 SOI 的光学传感器的 研究为研究课题，采用 Finite Difference Time Domain(FDTD)研究了几种高性能的 光学传感器，并对它们的特性进行了详细的分析，全文的工作主要由三个部分构 成。 对光学传感器的基本工作原理做了初步的分析，并分析了当前传感器设计中 较常使用的材料以及结构特性，通过大量的文献调研，阐述并分析了国外知名科 研机构以及国内知名高校在光学传感器这一领域的研究情况。 对传感器的基本理论进行了推导和分析，采用传输矩阵法(TMM)分别对微环 腔传感模型和光栅 FP 腔传感模型进行了分析，接着对 FDTD 法做了详细的推导， 并详细分析了在 FDTD 法进行传感器数值仿真设计中所需要设定的初始条件、边 界条件及激励源等。 设计了七种性能优良的光学传感器，包括四种基于 SOI 的微环腔传感器和三 种基于 SOI 的光栅 FP 腔传感器，每一种传感器均采用 FDTD 算法进行结构参数的 优化，并且仿真测试了每种传感器对 NaCl 和有机溶液的传感性能，仿真测试结果 显示，这七种光学传感器的具有非常好的传感性能。最后，设计了一种基于 SOI 的大动态探测范围及高灵敏度传感阵列芯片，并对这种传感芯片的工作原理及可 行性做了详细的分析。 关键词：光学传感器，微环谐振腔，FP 谐振腔，光栅反射镜，狭缝波导，时域有 限差分 ABSTRACT Optical sensors based on SOI(Silicon-on-Isolator) show wide application prospects in drug analysis, food safety testing, environment monitoring and other fields for its special advantages of dispensation with fluorescent tagging, high response speed, significant measure ability towards analytes, easy realization of distributed sensing, great sensitivity, low cost in integration, good stability, high selectivity, strong electromagnetic immunity, compact structure and integration, etc. With more and more researchers participating in the study and design of optical sensors, the theory of designing optical sensors is gradually improved, as well as the corresponding measuring system. In this thesis, we present sev