基于SOPC的四探针测试仪智能控制-电路与系统专业论文.docxVIP

摘 要 随着微电子行业日新月异的发展，对半导体材料的研究越来越深入，对其性能参数 的测量要求也越来越高。电阻率是半导体材料的重要参数之一，主要应用四探针测试仪 来进行测量。目前，在市场上购买一台智能化程度较高的四探针测试仪比较昂贵，而大 部分传统四探针测试仪还停留在手动阶段。作为测量半导体材料电阻率必不可少的工 具，传统四探针测试仪手动寻找测量点、测量精度及效率低等缺点已无法适应行业的需 要和时代发展。因此，对现有手动四探针测试仪的智能控制系统进行研究显得很有必要。 论文基于 SOPC 技术，对四探针测试仪智能控制系统进行了研究。研究中，采用了 上位机结合下位机对外围硬件电路进行控制的方法，完成了对四探针测试仪智能控制系 统的总体设计。控制系统的总体设计主要包括上位机、下位机以及外围硬件电路。 在下位机的设计中，利用 Nios II 技术为控制系统定制一个 Nios II 软核，并在 Nios II IDE 中进行相关程序的设计，以达到其核心控制的作用；在上位机的设计中，利用 Lab VIEW 技术，设计出友好的人机界面，在此界面中可对下位机进行控制也可处理并显示 下位机传来的数据；在外围硬件电路的设计中，对恒流源电路、差分放大电路以及通信 电路等进行了设计，并运用了 A/D 转换芯片 A/D7492 对测量数据进行转换、发送，运 用 L297 和 L298 组合的驱动电路对步进电机进行控制进而控制探针头移动。相比原有手 动四探针测试仪，此四探针测试仪智能控制系统智能化程度较高，它可以通过上位机进 行操作，控制测试台移动到指定位置，进行测量，然后将测量数据发送到上位机，进行 一定的处理后显示在上位机界面上，并进行存储。 论文中，对所设计四探针测试仪智能控制系统的部分模块和整体系统进行了模拟测 试，结果表明该系统基本实现了设计预期目标，能较好地完成对手动四探针测试仪探针 头机械移动、数据测试及显示、存储的智能控制。同时，本智能控制系统也具有较好的 可移值性，对于其它仪器的研究和改进也具有一定的借鉴作用。 关键词：四探针；SOPC；Nios II；智能控制 论文类型：应用研究 - I - Abstract With the rapid development of the microelectronics industry, the research of the semiconductor materials is more and more in-depth and the measurement of the corresponding performance parameters is becoming more and more demanding. One of the important parameters of semiconductor materials is resistivity, which is measured by the four-probe tester. At present, a four-probe tester with high degree of intelligence is expensive, and most of the traditional four-probe testers are still in the manual stage. The four-probe tester is regarded as an indispensable tool for measuring resistivity of semiconductor materials. The traditional ones, which have the disadvantages of finding measurement points manually and low accuracy and efficiency, can not meet the needs of industry and the development of the times. Therefore, research on the intelligent control system based on the existing manual four-probe tester is very necessary. Based on SOPC, a study on the intelligent control system of four-probe tester is carried out in the dissertation. In the study, the overall design