AuBe腐蚀操爱顾作培训.pptxVIP

前工生技—唐世伟;AuBe腐蚀操作讲解;金属腐蚀工艺是LED晶片制作工艺中的重要工艺，它的特性直接影响金属薄膜的图形相貌，甚至影响整个晶片的光电性能。因此，这对腐蚀工艺也提出了越来越高的要求。 本文以生产实际为基础，给出了（大尺寸晶片）Au薄膜的腐蚀方法，并对其存在的问题进行分析，使用更合理的腐蚀手法，以进一步提高金属腐蚀质量。;我公司加工制造的晶片尺寸有以下三种： 2 inch（英寸） 3 inch（英寸） 4 inch（英寸） 注：前面所提到的大尺寸晶片指的是3 inch和4 inch晶片。;单层金属腐蚀 多层金属腐蚀;顾名思义，就是一种性质的单质金属使用一种化学溶液进行腐蚀，无化学溶液交叉腐蚀。 根据我公司生产实际情况，蒸镀P面有三层薄膜。即：Au、AuBe、Au。这三层薄膜包含了两种金属，单质金和（金铍）合金，但在腐蚀过程中，我们只使用KI一种化学溶液即可把这三层薄膜（两类金属）腐蚀到位。因此，我们在腐蚀P面时可以理解它是单层金属腐蚀。;根据对以上单层金属腐蚀的讲解，多层金属腐蚀这个概念不会难倒大家。即两种或以上性质的单质金属使用两种或以上的化学溶液进行腐蚀，存在化学溶液交叉腐蚀。 根据我公司生产实际情况，蒸镀加厚层有两层薄膜（Ti/Au或Ti/Al）。但无论是哪一种，都无法用一种化学溶液把两层薄膜（两种金属）腐蚀到位，需使用到不同的化学溶液。;大尺寸晶片各个区域金