太阳能电池生等产工艺.ppt

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2018-12-21 发布于福建
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太阳能电池生等产工艺

单晶硅太阳能电池生产工艺工艺流;工艺流程清洗制绒（超声波清洗→;无标题;超声波清洗机械切片以后会在硅片;超声波清洗机设备要求：稳定性好;减薄工艺目的；去除表面损伤层和;绒面目的；制作绒面，减少反射，;酸洗目的；去除硅片表面金属离子;漂洗目的；去除氧化层（SiO2;清洗机设备要求：稳定性好，精确;烘干目的：烘干。原理：热吹风（;扩散目的；形成PN结。原理；（;扩散工艺步骤及条件进舟：速度2;扩散炉设备要求：精确度高可准确;48所三管扩散炉;刻蚀目的；去除周边短路环。原理;刻蚀过程的主要反应放电过;等离子体刻蚀机设备要求：工艺重;洗磷目的：去除硅片表面氧化层及;PECVD（等离子体增强化学气;PECVD镀SiNx:H薄膜-;PECVD（德）工艺步骤及条件;管式PECVD设备要求：管内气;丝网印刷目的；印刷电极和背场，;丝网印刷工艺步骤及要求工艺步骤;丝网印刷机;印刷达标的电池片;烧结目的??形成烧结合金和欧姆接;烧结工艺条件烧结工艺较为灵活，;网带式烧结炉设备要求：网带运行;太阳能电池的品质要求尽可能高的;生产高效率电池片应具备的条件工;生产管理的需求工艺需求—能够不