基于plc的半导体洁净室空调控制系统的设计与应用-控制工程专业论文.docxVIP

研究生优秀毕业论文 大连理工大学专业学位硕士学位论文摘 大连理工大学专业学位硕士学位论文 摘 要 在半导体行业中，洁净室的作用在于控制半导体产品所接触大气的洁净度及温湿 度，使产品能够在一个良好的环境空间中生产、制造，而合格的洁净室参数指标皆通过 控制洁净室空调系统来实现，因此设计一套技术先进、运行稳定可靠且维护方便的空调 控制系统便成为建造半导体晶圆厂洁净室时需要考虑的关键问题。 本论文来源于国内某300mm半导体晶圆制造厂的FMCS(厂务中央监控系统)项 目，提出了基于PLC的分布式控制系统在半导体洁净室技术中的实际应用方案，通过 设置合理的控制算法，准确、实时的对温湿度及正压差等洁净室参数进行控制，减少其 波动对生产工艺的影响，节能减排，并获得良好的经济效益。 在控制方案中，结合焓湿图进行温湿度解耦，确定露点温度为洁净室控制指标并选 取合理的露点温度计算方法；优化新风空调的空气处理过程，采用完全除湿模式，避免 了在季节更替时期由加湿和除湿模式的频繁切换所产生的扰动，并设计了基于PID串级 控制的露点温度控制模式；结合洁净室生产设备的工艺布局，采用PID串级控制实现正 压差控制并提出新风空调机组的群控策略，保证洁净室新风量的持续稳定供应。 控制方案中的PLC下位机系统采用罗克韦尔公司的ControlLogix体系结构，PLC 处理器主机架和控制层网络采用双冗余结构设计，实现了