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材料结构分析综合实验 实验23：原子力显微镜分析 一、实验目的 1. 了解原子力显微镜的工作原理及工作特点； 2. 了解原子力显微镜在材料科学中的应用； 3. 实验步骤 3.1 样品制备 3.2 安装探针，扫描器 3.3 安装样品并调试激光位置，参数设置 3.4 图像扫描 4.实验报告要求 4.1 实验目的 4.2 原子力显微镜工作原理，特点，原子力显微镜应用； 4.3 实验内容 磁控溅射ZnO,镀锌薄膜表面形貌观察； * * 2.1 原子力显微镜特点 2. 成像原理 将一个对微弱力及其敏感的长为100-200微米 的Si或Si3N4材料的微悬臂一端固定，另一端 有一个针尖，针尖与样品表面轻轻接触，针 尖尖端原子与样品表面原子间的及其微弱的 作用力，使微悬臂发生弯曲，通过检测微悬 臂背面反射出的红色激光光点在一个光学检 测器上的位置的变化可以转换成力的变化 （被反射激光点位置变化或是微悬臂梁弯 曲的变化与力的变化成正比），通过控制 针尖在扫描过程中作用力的恒定同时测量 针尖纵向的位移量，从而最终还原出样品 表面的形貌像。 2.2 原子力显微镜工作原理 表面形貌和材料如何测量 返回 X Y Z Mover 垂直信號的變化 即樣本的表面變化 Cantilever 擺動的方向 X Y Z Mover Cantilever 擺動的方向 水平信號的變化 即樣本的材質變化 原子力显微镜工作方式 Expulsive force atom atom Attractive force atom atom 2.3 原子力显微镜（AFM）应用 AFM可以在大气、真空、低温和高温、不同气氛以及溶液等各种环境下工作，且不受样品导电性质的限制，因此已获得比STM更为广泛的应用。主要用途： 1. 导体、半导体和绝缘体表面的高分辨成像 2. 生物样品、有机膜的高分辨成像 3. 表面化学反应研究 4. 纳米加工与操纵 5. 超高密度信息存储 6. 分子间力和表面力研究 7 摩擦学及各种力学研究 8 在线检测和质量控制 返回 IBM科学家首次拍下单分子照片 二氧化锡薄膜 分选和搬运 火星土壤 遭疟疾感染的人体红血球和蓝藻 返回 不同氧分压ZnO薄膜形貌 共析钢不同腐蚀时间表面形貌 AFM的缺点 受样品因素限制较大（不可避免） 针尖易磨钝或受污染（磨损无法修复；污染清洗困难） 针尖—样品间作用力较小 近场测量干扰问题 扫描速率低 针尖的放大效应 *