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设备电力 设备的电力来自楼下两个Power Box。 同时，在每一个BCT下方都有一个各个单元的电源控制按钮面板。 对应单元的电源按钮。在BCT旁，比较方便，每个都是控制各个单元的AC Power BOX SCR下方的AC Power Box，ACPower Box和I/O Box 往往在一起。 楼下的总控制柜 5. ExcelinerTM 1800 的维护 日常维护： SCR，DEV，OVEN，Buf的维护主要是以清洁工作为主： SCR 和DEV单元都配有用于清洗的高压水枪。 Buff和OVEN需要定期擦拭表面。保证particle量不要超标。同时，在打开OVEN，DP时，需要做好保护措施，防止chamber盖瞬间掉下。 各处的轴承，皮带的松紧，液体和气体的压力都需要经常地进行check Coater的Head 拆卸操作 拆卸和安装HEAD的步骤: 1.首先，先移动到”洗净/干燥待机位置”，Pumb入Thinner 液体将HEAD里的PR排净. 注意：系统已经保存有连续完成这些命令的动作，不需要手动进行，选择相应的操作可以排出PR,HEAD从home位置到洗净/干燥待机位置,排完之后会自动的回到home外置。 上面图中标出的位置点可作为参考。 2.再把THINNER排净. 3.在filling位置将连接在Nozzle上的所有配管拆掉之后,回到home位置,主要是中间的PR胶的配管和两侧的排出气泡的配管，还有冷却水的接口。了无牵挂了，才可以卸下来。其中，注意不要将卸下的软管接头随便乱放，以免污染管线内部。做好了这一切，将Head移动到Home位置，然后上升到“取替退避位置”。 拆除 Coater的Head 拆卸操作 4.HEAD上升到“取替退避位置”后,.由操作者给Nozzle加装保护罩。 拧上保护罩的固定螺栓。将Nozzle最脆弱的刀头部分保护好后，才可以进行下一步。虽然有保护罩，但是还是需要小心谨慎的移动。 5.将HEAD缓慢降到slider载物台上,首先，要在HOP中将速度调整为原来的10%,快到载物台上时,要停一下, 载物台 6.取下HEAD上的固定用的大螺栓,注意取下螺栓时要小心垫片丢了。然整个Head就完全靠两个吊环来支撑。 7.这时，在HOP中让Head下降，慢慢的放上载物台。要尽可能轻柔。当完全放下时，吊环松开。载物台是可以前后移动的。然后，将Nozzle向外推出载物台。 Coater的Head 拆卸操作 7.将吊机推到载物台前面，将HEAD吊起,, 放到工作台上时要注意轻放,要提着把环。 使用的吊机 Nozzle 由于只有两根吊绳，容易前后左右晃动，需要有人握稳两侧的吊绳，而另一个人操作吊车，操作吊车者必须轻柔。缓慢的抬起Nozzle。然后移动到操作台那。缓慢的放下。 Coater的Head 拆卸操作 8.将HEAD放下，取下吊绳，拆卸吊环，PR软管的接头，排气软管的接头，将吊环保存起来。然后操作台上有一个旋转把手，可以将HEAD放平。这个动作同样需要缓慢进行。 向下放下Nozzle Nozzle 放平以后，侧面安装起吊部件。 两人配合搬运或再次使用吊车，将Nozzle抬起，放到旁边很接近的位置的更加容易操作的平台上。 检查外观。 Coater的Head 拆卸操作 将固定A，B面的螺栓一个一个拧开 下面的部分不一定要进行，如果Nozzle是要进行保修。完成前面的操作后就可以使用专门的箱子收起来了。然后就可以交给TEL的售后服务人员。 打开Head头： 将把A和B相连的螺栓取下，取下时，是没有什么规律的。但是在再次安装回来的时候，需要以中心对称的方式，以1N，2N，3N … … 的方式将Nozzle的A，B面重新固定。全程必须使用力矩扳手。 9.将A面翻过来,SIM,A和B的内面都要用药液清洗。 10.将A面和B面夹着SIM组装起来,唇边与SIM要相离0.1~0.5mm,左右相离0~0.1mm,找好位置之后立即喷上药液使SIM能吸附在HEAD上,SIM有个缺角,要放在BACK面(操作面叫front面,背对面叫back面) 将Nozzle安装的操作和拆卸的完全是逆向的程序。 100um B A 1 调整螺栓 2 调整螺栓 3 固定螺栓 4 垫片 4 3 Coater. Head 的设置：Head的高度设置 当每次进行了Head安装后，Head的位置都产生了很大的变化，需要重新进行初始位置的调整。 在Table靠近Uniformer侧的边缘有测量Nozzle的探针。 首先要进行Head的高度探针的重新检查和调节，确定0点位置 1 使用夹具确定0Set位置：先将夹具在Table边缘倾斜缓慢放平，再缓慢旋转至对角线方向上。 通过HOP操作界面下的调节高度探针以确定0Set位置，最终要使测量值在2000di