物理大二上 唐莹09薄膜2_11.5_.pptVIP

* §2-§4 光的干涉 一.分波阵面干涉 二.薄膜干涉：等倾 三.薄膜干涉：等厚 四. Machelson干涉仪 研究干涉问题的思路： 1 .两支光线的光程差 2 .条纹规律（形状、位置、间距） 3 .条纹动态 4 .应用 光程差 实用中,光线正入射, 入射角i =0 劈尖膜 当入射角i一定(平行光入射) 而薄膜厚度不均匀(d可变)时,同一条纹对应相同的膜厚,称为等厚干涉条纹。 三.薄膜干涉：等厚 n 1.条纹位置计算 第k条暗纹 第k+1条暗纹 干涉条纹是平行于棱边的直条纹。 相邻明或相邻暗条纹对应的膜厚差均为??2n。 (n2统一记为n) 条纹间距: 条纹间距 3.条纹动态思考 (2)如果劈尖角变大(或变小),条纹如何变化? (3)如果劈尖上板向上(下)移动,条纹怎样变化? (1) 平行光垂直照射,干涉条纹为平行于劈尖棱边等距直条纹； 2 .条纹规律： 记！ (1)如果劈尖不是空气而是介质,n ≠1,结论如何? 变密 变密 向棱边平移 CAI (2)棱边处为零级暗条纹。 (3)条纹宽度为l=?/2n?， ? 越小，条纹越疏. (4)相邻明纹(或暗纹)所对应的膜厚之差为?/2n 。 待测薄膜 s 读数显微镜系统 4.劈尖干涉的应用 (1)测量透明薄膜厚度 (2)检查表面不平整度 (3)测量微小角度 待 测 表 面 标准平玻璃 例4:制造半导体元件时,常常要精确测定硅片上二氧化硅薄膜的厚度,这时可把二氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉,使其形成劈尖,利用等厚条纹测出其厚度.已知Si的折射率为3.42,SiO2的折射率为1.5,入射光波长为589.3nm,观察到7条暗纹.求SiO2薄膜厚度？ 解: k=6 e=1.28?m 例5.用波长为?的单色平行光垂直照射由两块平板玻璃构成的空气劈尖.当劈尖夹角由?1减小为?2时,计算从劈尖棱数起的第4条明纹的位移和对应的空气膜厚之差. 解: 例6：利用空气劈尖检测工件平整度,得到如图的等厚干涉条纹,问平玻璃下面的工件表面有什么毛病;并计算毛病的尺寸. a b 解:分析下板表面缺陷 待 测 表 面 标准平玻璃 设凹陷深度为?h （a） （b） （c） 所以 如果劈尖上板向上移动,条纹向棱边处移动； 由于相邻明纹或（暗纹）所对应的膜厚之差为?/2 。 a b 待 测 表 面 标准平玻璃 （a） （b） （c） 设凹陷深度为?h 由图（d）中两相似三角形得 ?h b a （d） 牛顿环（略讲） 单色光垂直照射 牛顿环图样 dk 这两支光相干 s 读数显微镜系统T L M O A B 平玻璃板 平凸透镜 dk O C R A B 常利用牛顿环测量凸面的曲率半径。 rk 牛顿环图样 思考： 牛顿环的等厚干涉条纹为什么是圆的，而劈尖的等厚干涉条纹是直的？ 例7:牛顿环实验中,?=589.3nm,测得 第k个暗环半径为5.63mm,第k+5个暗环半径 为7.96mm. 求(1)平凸透镜的曲率半径. (2)k=？ 解:(1)根据暗环半径 分 析 四 迈克尔孙干涉仪 (Michelson’s interferometer) s M1 M2 M2 G2 G1 L V C d E 固定 可调 M2的虚像 分光板 补偿板 窦 M1与M?2 严格地相互平行,因而M1与M?2形成一厚度均匀的空气层（平行膜）,空气薄膜两表面上反射的光线汇聚，在E将产生环形的等倾条纹。 如果M1、M2不严格地相互垂直,则M1与M?2间构成一楔形的空气层,因而将产生一组相互平行的等厚干涉条纹。 s M1 M2 M2 G2 G1 L V C d E 自制 M2的微小位移就要引起像M?2的等量位移.这时,就要引起干涉条纹的移动.计录移过视场中的条纹数目?N,就可以算出M?2或M2移动的距离: 用已知波长的光波可以测定长度,也可以用已知长度来测定波长。 光程差每改变一个波长，条纹就移过一条 例8.在迈干涉仪的两臂中分别引入10cm长的玻璃管A、B ,其中一个抽成真空,另一个在充以一个大气压空气的过程中观察到107.2 条条纹移动.所用波长为546nm.求空气的折射率？ 解:设空气的折射率为n 条纹移动一条时,对应光程差的变化为一个波长.当观察到107.2 条移过时.光程差的改变量满足： 迈克耳孙干涉仪的两臂中便于插放待测样品，由条纹的变化测量有关参数。精度高。 例9.在迈克耳孙干涉仪的一支光路中,放入一片折射率为n的透明介质薄膜后，测出两束光的光程差的改变量为一个波长,计算薄膜的厚度。 解： t 例10. 迈克尔孙干涉仪中的反射镜M1以匀速V平移,观察屏上一固定点测得光强变化的频率为?,求入射光的波长. 解.每秒移动距离 光强变化频率为即每秒移过的条纹数N 光