第五章、真系统设计2.pptVIP

第五章、真空系统设计 主要内容： 1、真空系统的组成 2、真空系统元件及连接 3、真空系统中常用材料 4、真空卫生 5、真空系统的设计计算 1、真空系统的组成 1.1真空技术系统图用图形符号： 1.2 真空系统的构成 真空系统是由真空容器、获得真空、测量真空、控制真空等组件组成。 较完整的真空系统： 真空室 所需的真空泵或真空机组： 真空测量装置 连接导管 捕集器 真空阀门 其他真空元件及电气控制系统 1.3 典型的真空系统 1.4 真空系统的基本操作规测 启动油封机械泵时，首先保证转子方向正确、油位符合要求； 油封机械泵停止时，防止压差返油； 不要让机械泵工作到极限压强； 不要让油封机械泵在大气压强下或较高压强下长时间工作； 在扩散泵通大气之前，应将泵油冷却到安全温度，防止高温下油氧化； 高真空泵在工作之前，先要开启水冷； 使用电离计时，应在真空室压强低于1.33×10-1Pa，才接通电离计； 真空系统停止工作时，应将系统内的各元件（包括真空室）都保持真空状态下封存，但机械泵要通大气； 2、真空系统元件及连接 真空元件: 真空室、真空泵、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器（阱）、除尘器、真空继电器 真空阀门 密封连接 2.1 真空阀门 典型的真空阀工作方式： 典型的真空阀工作方式： 2.2 密封 密封材料 真空阀门的胶垫密封结构 快速接头组件 橡胶密封材料的基本