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抽真空系统知识要点 极限真空度:是指真空泵能够达到的最大真空度。 “极限真空”是真空泵的一个重要参数，是反应泵抽气能力的特性值，是与真空泵相关的一个数值，不同的真空崩溃恶意有不同的“极限真空”度。而“理论真空”是理论研究时的一个概念，是排除各种实际因素的影响而提炼出的一种最理想的真空状态。 真空装置中污染物的类型： 油脂：加工、安装和操作过程中沾染的润滑剂、真空油脂等。 水滴：操作过程中的手汗和空气中的水分。 表面氧化物：易氧化材料长期暴露或放置在潮湿大气中所形成的表面氧化物。 酸碱盐类物质：清洁后的残余物质、手汗、自来水的矿物质等。 空气中的尘埃及其他有机物 作为最常用的一项指标参数，常把空气中水蒸气的饱和度定义为空气的相对温度， 相对温度（%）=（PVH2O/PSH2O）X 100% PV表示一种蒸汽的实际压力；PS表示这种蒸汽对应温度下的饱和蒸汽压 例如：工程中定义标准环境条件为温度20℃，相对湿度65%，大气压力101325Pa。已知水蒸气在20℃的饱和蒸汽压为2333Pa（17.5托），则可计算出标准环境条件下大气中水的分压力位0.65X2333=1516Pa（11.375托）。 旋片泵抽气步骤：一个抽气周期包括进气腔膨胀吸气、隔离和排气腔压缩排气三步骤。如果吸入的气体中的水蒸气的比例较大，在水蒸气和永久气体被压缩达到排气压力之前，水蒸气的分压力已经达到饱和蒸汽压，那么继