改良型卡塞格林系统的加工检验.PDFVIP

激光与光电子学进展 ， （ ） 犔犪狊犲狉牔犗狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊犘狉狅狉犲狊狊 Ｃ 《中国激光》杂志社 ４９０２２２０１２０１２ 狆 犵 ○２０１２ 改良型卡塞格林系统的加工检验 李卓霖 付秀华 贾宗合 杨永亮 顾皓楠 　 　 　 　 （长春理工大学光电工程学院，吉林 长春 １３００２２） 摘要 卡塞格林系统是望远系统中最经典的反射式光学系统。常规的卡塞格林系统成像点在系统以外，可以直接 　 采用干涉仪检验。而改良型卡塞格林系统成像点在两镜之间，无法用常规方法进行检验。基于系统特性，主要分 为两步检测：对主镜进行精确检验；通过检验系统的弥散斑评价成像质量。在采用轮廓仪测量、阴影法检验以及 Ｚ ｏ干涉仪检测的基础上，通过搭建特殊结构对系统进行精确检测。同时，在检验过程中要边测量边修正面形，使