离心式次微米微粒采样器之开发-eTop-工程科技推展平台.PDFVIP

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 離心式次微米微粒採樣器之開發 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2622-E-241-008-CC3 執 行 期 間 ：99年11月01日至 100年10月31日 執 行 單 位 ：弘光科技大學環境與安全衛生工程系（所） 計 畫 主 持 人 ： 盧信忠 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：陳亮翰 碩士班研究生-兼任助理人員：陳文程 公 開 資 訊 ： 本計畫涉及專利或其他智慧財產權，研究成果報告(精簡版)1 年後可公開查詢 中 華 民 國 101 年 01月 19 日 中 文 摘 要 ： 次微米微粒對人體健康有很大的影響，且對於高科技產業(如 半導體廠，無塵室等)次微米微粒的汙染亦是相當重要的課 題。因此利用採樣器進行次微米微粒的採樣，了解次微米微 粒在工作場所或一般大氣中的分布也越形重要。一般在採樣 所使用分徑採樣器，常見的為階段式衝擊器、MOUDI或泛用 型採樣器，這些採樣器利用秤重法求得微粒濃度，在次微米 微粒的範圍，較不能適用。而掃描式移動度微粒篩分儀 (SMPS, scanning mobility particle sizer)，可測得粒徑 10-1000nm的細微粒的數目濃度，然而其價格非常昂貴。 因此在本研究中開發一種不同套管式離心次微米採樣器，經 由不同轉速之之轉子產生的旋轉離心力將微粒分離，分徑完 成後導入核凝計數器(CPC)測出不同粒徑微粒之數目分布。結 果顯示本研究開發之次微米採樣器可分離不同粒徑之微粒， 所分離之微粒粒徑範圍介於18.8 nm至791 nm之間，在流量 越小而轉子的轉動速度越大時，採樣器分離出的微粒粒徑也 越小，反之，欲分離出較大之微粒則需較小的轉速及較大之 流量。然而採樣器所分離之微粒粒徑並非單粒徑分布，在應 用上此採樣器內部可塗敷油脂避免微粒反彈，或在採樣器部 分設計上進行改善以得到趨近於單粒徑分布的分離結果。 中文關鍵詞： 次微米微粒；掃描式移動度微粒篩分儀；離心式次微米採樣 器；核凝計數器 英 文 摘 要 ： The submicrometer particles were evaluated to be harmful to human health. In additions, submicrometer particles are important pollution sources for high technique industry (ex. Semiconductor manufacturing plant or clean room). Therefore, sampling size distribution for submicrometer particles by sampler