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第24卷第6期 红外与毫米波学报 Vo1．24，No．6
2005年l2月 J．Infrared Millim．Waves December，2005
文章编号：1001—9014(2005)06—0409—06
双材料微梁阵列非制冷红外成像系统
微梁阵列的设计与制作
董凤良 ， 张青川 ， 伍小平 ， 潘 亮 ， 郭哲颖 ， 陈大鹏 ， 王玮冰 ， 段志辉
(1．中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室，安徽合肥 230027；
2．中国科学院微电子研究所，北京 100029)
摘要：给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件——双材料微悬臂梁阵列的设计和制作．微梁阵列
是无硅基底的SiNx／Au双材料单层膜结构，其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像．实验使用了设计制作的
140×98微梁阵列和高信噪比的l2一bit CCD，得到120~C以上的物体热像，噪声等效温度差(NETD)为7K左右，实验
结果与热机械模型预测结果一致．
关 键 词：非制冷红外成像；光学读出；双材料微悬臂粱阵列
中图分类号：TN216 文献标识码：A
BIMATERIAL MICRO．CANTILEVER UNCOOLED INFRARED
IMAGING SYSTEM——DESIGN AND FABRICATION
OF MICRO．CANTILEVER ARRAY
DONG Feng—Liang ，ZHANG Qing—Chuan ，WU Xiao—Ping ， PAN Liang ，GUO Zhe—Ying。
CHEN Da—Peng ， WANG Wei—Bing ， DUAN Zhi—Hui
(1．CAS Key Laboratory of Mechanical Behavior and Design of Materials，
University of Science and Technology of China，Hefei 230027，China；
2．Institute of Microelectronics，Chinese Academy of Science，Beijing 100029，China)
Abstract：Tl1e design and fabrication of one．1ayer bimaterial micro—cantilever array made of silicon nitride(SiNx)and gold
(Au)without Si substrate for uncooled optical readout infrared(IR)imaging system were presented．One—layer structure
simplifies the fabrication process．IR thermal images can be obtained when the cantilever array iS placed in the atmosphere．
The exDerimental results with the micro．cantilever array of 140×98 elements and 12一bit CCD indicate that the objects at the
temperature of higher than 120℃can be detected and the noise．equivalent temperature difference(NETD)of the device is
～ 7K．The experimental results are we
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