HANMI分选机测试原理.ppt

HANMI分选机测试评估报告 （一）崩边、尺寸原理 一.HANMI分选机测试原理 1.尺寸测量 上下表面各两束光投射到硅片表面，测量硅片的边长，对角线，垂直度等参数。 尺寸精度：±100um 垂直度精度：±0.05° 符合公司标准(边长：156±0.5cm；对角线：219.2±0.8cm；垂直度：90°±0.2°） 2.崩边测量 左图为崩边片，其中崩边对比度颜色较暗。对比度设置值为13。 左图为崩边片，其中崩边对比度颜色较亮。对比度设置值为100. 判断依据:根据硅片表面的对比度不同来判定。 HANMI崩边测量范围:≥100um*100um;符合公司标准（1000u