大族扩散炉PM操作说明..docVIP

第 PAGE 18 页 共 NUMPAGES 18 页 大族扩散炉PM操作指导书 文件编号 版本/版次 A/0 工位名称 大族扩散 工时（秒） 　N/A 型号 N/A NO 作业项目 作业内容 1 目的 为了让员工更熟练、安全、有效的掌握扩散炉PM 2 范围 所有扩散炉维护员工 3 定义 大族扩散炉PM 操作指导书 4 职责 所有扩散炉PM操作员工熟读并掌握该扩散炉PM步骤。 5 安全 5.1所有的维护项目必须由培训合格的设备技术人员或设备工程师或厂家维修人员完成。 5.2在开启电源时，必须首先确定没人在设备上工作或维修。 5.3按照相关的安全要求处理与工艺环境接触的部件,材料。使用适当的防护器材,如手套,眼镜,面部护罩. 5.4注意紧急关机按钮的位置，最近的消防通道和安全出口的位置。 5.5定期检查本区域中使用的危险品，包括：H2SO4，HF，HCL，NAHO等。 5.6在进行PM前，必须熟悉有关的安全技术要求。 6 PM种类 6.1 周维护：（周维护项目见周维护表单） 6.1.1完成周维护表单上项目。 6.1.2 填写周维护表单。 6.2 月维护：（月维护项目见月维护表单） 6.2.1 完成周维护内容。 6.2. 2 完成月维护表单上项目。 6.2.3 填写月维护表单。 7 PM前准备工作 7.1 工具：内六角扳手、活络扳手、螺丝刀（十字和一字）。 7.2 材料：酒精、净化布、水。 7.3 防护用品：护目镜、防酸服，橡胶手套。 7.4 准备好需要更换的零件。 7.5 通知工艺人员、班长：该设备需停机做PM（大约占多少时间）。 大族扩散炉PM操作指导书 文件编号 版本/版次 A/0 工位名称 大族扩散 工时（秒） 　N/A 型号 N/A　 NO 作业项目 作业内容 8 拆石英管步骤 8.1待工艺已停止，源瓶阀门已关闭设备温度降至 90度以下。 8.2如图将炉壁五个温区热电偶松开， 8.3如图桨接液瓶和尾气瓶连接处不锈钢夹子松开，分别拆下接液瓶、尾气瓶、源接头。 大族扩散炉PM操作指导书 文件编号 版本/版次 A/0 工位名称 大族扩散 工时（秒） 　N/A 型号 N/A　 NO 作业项目 作业内容 8 拆石英管步骤 8.4将气源柜部分的废液瓶，废液罐，尾气管，TC 管及各气管接头均拆下，放置于待清洗区。 大族扩散炉PM操作指导书 文件编号 版本/版次 A/0 工位名称 大族扩散 工时（秒） 　N/A 型号 N/A NO 作业项目 作业内容 8 拆石英管步骤 8.6拆炉管尾部的隔热铁板，隔热石英棉（拧下隔热铁板时一定要两人配合好，一人扶住铁板一人拧螺丝，防止隔热铁板把尾管砸断）。 8.7用无尘布擦净炉管口的偏磷酸。 大族扩散炉PM操作指导书 文件编号 版本/版次 A/0 工位名称 大族扩散 工时（秒） 　N/A 型号 N/A NO 作业项目 作业内容 8 拆石英管步骤 8.8拆下炉口处整体挡板，拧下挡板固定螺丝（拆卸过程中不要碰到碳化硅桨）。 8.9一名技术员将炉管从炉口往炉尾推同时另一名技术员从尾部拿住炉管尾管根部往后拉（拉的时候力一定要水平用力。）在炉口处炉管脱离炉口石棉圈时将炉口抬起并把线槽盖伸入炉管与加热丝之间，将炉管拉至一半时，逆时针旋转90度，将炉管抬出放置与清洗小车中。（抬炉管时需要三个人，前中后各一，在炉管尾部快抬出炉膛时一定要抬稳炉管，防止炉管碰到炉膛壁）。拆下后用炉管专用车拉到清洗机清洗石英炉管。 大族扩散炉PM操作指导书 文件编号 版本/版次 A/0 工位名称 大族扩散 工时（秒） 　N/A 型号 N/A NO 作业项目 作业内容 9 安装石英管步骤 9.1待清洗完毕开始安装石英炉管。 9.2 旋转石英炉管使尾管靠炉体右边位置，三人一起将石英炉管推入炉膛，并在炉膛内放置线槽盖，推至一半时将炉管旋转到位（炉管热电偶和尾气管的尾管水平靠下），将炉管推入到炉口接近炉口石棉圈时一名技术员从前面将炉口抬起并将线槽盖抽出，另一名技术员从后面将炉管往前推，要求尾部安装隔热棉和尾部不锈钢挡板后挡板与炉膛贴紧。 大族扩散炉PM操作指导书 文件编号 版本/版次 A/0 工位名称 大族扩散 工时（秒） 　N/A 型号 N/A NO 作业项目 作业内容 9 装石英管步骤 9.3尾部气源柜内安装尾气管、TC管、接液瓶、废液瓶以及各种气体接头，安装完毕检查所有接头和不锈钢夹子，保证接头拧紧，夹子夹紧。（尾气管和热偶套管与炉管尾管连接处用生料带缠绕保证密封性） 9.4炉管尾管与尾部石棉圈之间用隔热棉塞满，避免尾部温度损浩。、 9.5安装炉管尾部的隔热铁板，隔热石英棉（安装 隔热铁板时一定要两人配合好，一人