一种小型四极杆射频电源技术研究.pdfVIP

2015年第1期 分 析 仪 器 11 一 种小型四极杆射频 电源技术研究 李延录 安卫东 承学东 自 岗。 李 季。 (1．吉林省计量科学研究院 吉林省计量测试仪器与技术重点实验室 ，长春 130103； 2．吉林市分析技术有限责任公司，吉林 132001；3．长春华普科学仪器有限责任公司，长春 130013) 摘 要：根据四极杆质量分析器的基本原理，设计使用一种小型的射频 电源，该电源的频率、电压控制信号均 由数字控制板提供 ，产生交流峰峰值 2568Vpp，直流DC~215V附加于 四极杆 ，并与之谐振于 2．7648MHz。由于使 用 了带环形磁芯的变压器 ，体积小、效率高，电路有取样和反馈 ，可 以长期稳定工作 。 关键词 ：四级杆质谱 ；射频 电源 - D0I：10．3936／j．issn．1001—232x．2015．O1．003 DesignofaminiaturequadrupoleRFpowersupply．LiYanlu，AnWeidong，ChengXuedong，BaiGang， L Jf(1．JilinInstituteofMetrology(KeyLaboratoryofMeasurementtestequipmentandTechnologyof Jilinprovince)，C 口gc^“130103，China；2．JilinGuangdaAnalysisTechnicsCo．，Ltd．，Jilin132000， China；3．ChangchunHuapuScientificInstrumentsEquipmentCo．，Ltd．，C ngf 130022，China) Abstract：Thedesign approach iSdominated by the iron—powdertoroidwhich providesfortheRF transformer．Ithastheadvantagesofsmallvolumeandhighefficiency．Theprimaryofthetransformeris drivenbyasquarewavevoltagefrom CPU boads，andthesecondarieshaveaself—inductancetoresonateat 2．7648M Hzwiththecapacitive1oadpresentedbytherodsinthemassfilter。togenerate2568Vpp．Inad— ditiontotheRF．DC potentialofabout±215V iSrequiredforthetworodpairs． Keywords：quadrupolemassspectrometer；quadrupoleRF power 但在残余气体分析仪等小型四极质谱 中可 以很好 1 前 言 的工作，同时效率高，稳定性好 。 四极杆质量分析器 的原理于 1953年首次 由德 2 理论依据 国Bonn大学物理系教授 WolfgangPaul等人提 出[13。四极滤质器仅利用纯电场工作 ，无需磁场 ，也 四极杆质谱仪 的核心部件就是 四极杆质量分 不要求人射离子实现能量聚焦，可引入结构简单、 析器 ，它是 由四根精密加工的 电极杆以及分别施加 高灵敏度的离子源 ，因而四极杆质谱仪具有结构简 于X、Y方 向两组高压高频射频组成的电场分析器 。 单 、紧凑 ，重量很轻 ，扫描速度快 ，价格低廉的特点， 四根 电极可 以是双 曲面也可 以是 圆柱型的电极 ；射 在许多领域 ，都 已获得广泛应用 [2]。 频 电压伴随着时间的改变，四极杆 电场的强度和相 四极杆质量分析器相连接 的电源就是 四极杆