基于Micro-CT光机X射线源的单晶LaB6阴极的制备及其性能研究.PDFVIP

第 27 卷 第 3 期 CT 理论与应用研究 Vol.27, No.3 2018 年 6 月 （357-362） CT Theory and Applications Jun., 2018 马玉田, 刘俊标, 牛耕, 等. 基于 Micro-CT 光机 X 射线源的单晶 LaB 阴极的制备及其性能研究[J]. CT理论与应用研究, 2018, 6 27(3): 357-362. doi:10.15953/j.1004-4140.2018.27.03.08. Ma YT, Liu JB, Niu G, et al. Research on the preparation and performance of LaB single crystal cathode for micro-computed 6 tomography[J]. CT Theory and Applications, 2018, 27(3): 357-362. doi:10.15953/j.1004-4140.2018.27.03.08. (in Chinese). 基于Micro-CT 光机X 射线源的单晶LaB6 阴极的制备及其性能研究  马玉田，刘俊标 ，牛耕，赵伟霞，韩立 （中国科学院电工研究所，北京100190） 摘要：本文采用电化学腐蚀方法和聚焦离子束技术制备了单晶 LaB 针尖，借助电子扫描电镜对 6 针尖进行微观形貌分析。在此基础上，研制热解石墨径向夹持直热式单晶 LaB 阴极，对其发射 6 性能及其在 Micro-CT 应用进行研究。研究表明，单晶 LaB 阴极能够产生高亮度的电子束，提高 6 了X 射线亮度，提升了 Micro-CT 图像质量。 关键词：显微计算机断层成像；单晶 LaB 阴极；发射性能；X 射线成像 6 doi:10.15953/j.1004-4140.2018.27.03.08 中图分类号：O 434.1 文献标志码：A 微计算机断层扫描技术（micro computed tomography，Micro-CT）是一种非破坏 性的 3D 成像技术，能够在不破坏样本的情况下清楚了解样本的内部显微结构，在无损检测 技术领域迅速发展和广泛应用[1－5] 。聚焦电子束打靶作为输出足够强度的微束斑X 射线最为 简单、实用的方法，其电子源的发射性能是影响出射 X 射线稳定性的关键因素之一[6－7] 。高 品质的电子束具有高亮度、高稳定性、长寿命等特点，能够满足微束斑 X 射线源的要 求。因此，研究能够产生高品质的电子束所需的电子源，是研制 Micro-CT 工作中的重中之 重，也一直是众多研究工作者追寻的目标和热点。 目前常用的阴极发射电子束的主要方法有电子发射、场致发射和热场致发射等3种[8－9] 。 但是，热电子发射阴极效率低、发射小、亮度低和寿命短等缺点，不能满足微束斑 X 射线 源的要求，而场致发射阴极所需的工作条件又比较苛刻。因此，聚焦电子束打靶微束斑 X 射线源一般采用性能稳定、发射效率高的热场致发射阴极。而单晶 LaB 阴极由于具有发射