mems院可靠性.pptxVIP

MEMS可靠性; ; ; ;美国喷气推进实验室（JPL）在NASA支持下对MEMS空间应用可靠性进行了广泛研究，发布了MEMS空间应用的可靠性保障指南（MEMS reliability assurance guidelines for space application）； 美国桑地亚实验室（SNL）在DARPA支持下，详细研究了MEMS基本单元的可靠性测试结构、试验与失效模式报告（MEMS Reliability：Infrastructure ， Test structure ，experiments，and Failure modes）;费用使用可靠性整体分析方法，将可靠性问题贯穿于产品开发整个过程中; ;浴盆曲线; ; ;释放有关粘附;断裂;延伸的止动侧壁; ;温度、湿度、振动综合作用;可靠性测试系统; ;Thank you！