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讲师 制造技术部 目录 一、干膜的主要组成成份简介 二、我司回路课的作业流程 一 干膜成份的简介 1.干膜的介绍： 干膜是一种高分子的化合物，它通过紫外 线的照射后能够产和一种聚合反应形成一种稳 定的物质附着于板面，从而达到阻挡电镀和蚀 刻的功能。 2.干膜的分类 依据厚度的不同干膜可以分为三类： 1.2mil、1.5mil、2.0mil 1.2mil干膜主要 用于内层板作业 1.5mil、干膜主要用于外 层板作业当然也可以用于内层板作业但由 于较厚在蚀刻的过程中容易造成侧蚀而且成本相对较高，所以 一般不使用其作内层。 （1）粘合剂 作为光致抗蚀剂的成膜剂，使感光胶各组份粘结 成膜，起抗蚀剂伪骨架作用，它在光致聚 合过程中不参与化学反应。 要求粘结剂具有较好的 成膜性； （2）光聚合单体 它是光致抗蚀剂胶膜的主要组份，在光引发剂的存在下，经紫外光照射发生聚合反 应，生 成体型聚合物，感光部分不溶于 显影液，而未曝光部分可通过显影除去， 从而形成抗蚀图像。多 元醇烯酸酯类及甲基丙烯酸酯类是广泛应用的聚合单体，例如季 戊四醇三丙烯酸酯是较好的 光聚合单体。 在紫外光线照射下，光引发剂吸收紫外光的 能量产生游离基，而游离基进一步引发光聚合 单体交联。干膜光致抗蚀剂通常使用安息香醚、叔丁基恿醌等作光引发剂。 4)增塑剂  可增加干膜抗蚀剂的均匀性和柔韧性。三乙二醇双醋 酸脂可作为增塑剂。  4.干膜的储存 干膜在储存过程中可能由于溶剂的挥发而变脆，也可能由于环境温度的影响而产生热聚· 合，或因抗蚀剂产生局部流动而造成厚度不均匀(即所谓冷流)，这些都严重影响干膜的使用。 因此在良好的环境里储存干膜是十分重要的。技术要求规定，干膜应储存在阴凉而洁净的 室内，防止与化学药品和放射性物质一起存放。 二、干膜的流程 储存条件为：黄光区，温度低于27℃(5—21℃ 为最佳)，相对湿度50％左右。储存期从出厂之日算起不小于六个月，超过储存期按技术要求 检验合格者仍可使用。在储存和运输过程中应避免受潮、受热、受机械损伤和受日光直接照射。   （1)机械清洗  机械清洗即用刷板机清洗。刷板机又分为磨料刷辊式刷板机和浮石粉刷板机两种。①磨料刷辊式刷板机 磨料刷辊式刷板机装配的刷子通常有两种类型，压缩型刷子和硬毛型刷子。压缩型刷子是 将粒度很细的碳化硅或氧化铝磨料粘结在尼龙丝上，然后将这种尼龙丝制成纤维板或软垫，经 固化后切成圆片，装在一根辊芯上制成刷辊。 其缺点是由于尼龙丝较细容易撕裂，使用寿命短。硬毛型刷子的显著优点是尼龙丝耐磨性好，因而使用寿命长，大约 是压缩型刷子的十倍，但是这种刷子不宜用于处理多层板内层基板，因基板薄不仅处理效果不 理想，而且还会造成基板卷曲。在使用刷辊式刷板机的过程中，为防止尼龙丝过热而熔化，应不断向板面喷淋自来水进行 冷却和润湿。 ②浮石粉刷板机多年来国内外广泛使用的是磨料刷辊式刷板机。研究表明，用这类刷板机清洁处理板面有 些缺欠，如在表面上有定向的擦伤，有耕地式的沟槽，有时孔的边缘被撕破形成椭圆孔，由于 磨刷磨损刷子高度不一致而造成处理后的板面不均匀等。 浮石粉刷板机处理板面有如下优点：a．磨料浮石粉粒子与尼龙刷相结合的作用与板面相切擦刷，能除去所有的污物，露出新 鲜的纯洁的铜；b．能够形成完全砂粒化的、粗糙的、均匀的、多峰的表面，没有耕地式的沟槽； (3)电解清洗 贴干膜前基板表面清洁处理，一般采用上述1)一2)种处理方法，机械清洗及浮石粉刷板 对去除基板表面的含铬钝化膜(铜箔表面防氧化剂)效果不错，但易划伤表面，并可能造成磨料 颗粒(如，碳化硅、氧化铝、浮石粉)嵌入基体内，同时还可能使挠性基板、多层板内层薄板及薄 型印制板基板的尺寸变形。 电解清洗工艺过程如下：进料→电解清洗→水洗→微蚀刻→水洗→钝化→水洗→干燥→出料 本公司使用机械清洗的处理方式，其流程为: 进料 酸洗 水洗 磨刷 水洗 吸干 烘干其参数管控重点如下:1.刷痕12±1mm 上图所示为刷痕试验的几种状况，A区所示为正常的刷痕，B区所示为刷轮左高右低之情况，C区所示为刷轮右高左低之情况，D区所示为刷轮严重变形之情况(俗称“狗骨头”)。如果出现B.C的状况,需对刷轮的水平度进行调试, 如果出现D的状况,需对刷轮进行整刷或更换刷轮.. 贴 膜  贴膜时，先从干膜上剥下聚乙烯保护膜，然后在加热加压的条件下将干膜抗蚀剂粘贴在覆