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 电子衍射及显微分析 1. 透射电镜的一般知识 2. TEM工作原理(重点) 3. 透射电镜的结构(重点) 4. 电子衍射物相分析(重点) 5. 电子显微衬度像(重点) 1. 透射电镜的一般知识 1.1 什么是TEM? 1.2 TEM发展简史 1.3 为什么要用TEM? 1.1 什么是TEM? 1. 透射电镜的一般知识 1.1 什么是TEM? 1.2 TEM发展简史 1.3 为什么要用TEM? The Discovery of Electron-Joseph John Thomson 1906 The Nobel Prize in Physics 1897 an original study of cathode rays culminating in the discovery of the electron The ratio of charge to mass of a charged particle: e/m The ratio of charge to kinetic energy of a charged particle: e/(mv2) Electron has energy, mass and momentum. Louis-Victor de Broglie waveelectrons are particles and have wave nature Knoll and Ruska (1932)the first Transmission Electron Microscope 40年代电镜 40-60年代电镜 60年代电镜 场发射透射电镜 (FEG-TEM) 球差校正透射电镜 (Cs corrected-TEM) 球差校正透射电镜 (Cs corrected-TEM) 1.2 近代电子显微学发展史上三个重要阶段 像衍理论(50－60年代)： 英国牛津大学材料系 P. B. Hirsch, M. J. Whelan；英国剑桥大学物理系 A. Howie.（建立了直接观察薄晶体缺陷和结构的实验技术及电子衍射衬度理论） 高分辨像理论(70年代初)： 美国亚利桑那州立大学物理系J. M. Cowley，70年代发展了高分辨电子显微像的理论与技术。 高空间分辨分析电子显微学(70年代末，80年代初)采用高分辨分析电子显微镜(HREM, NED, EELS, EDS)对很小范围(～5?)的区域进行电子显微研究(晶体结构，电子结构，化学成分) 1.2 各国代表人物 美国伯克莱加州大学G. Thomas将TEM第一个用到材料研究上。 日本岗山大学H. Hashimoto日本电镜研究的代表人。 中国：钱临照、郭可信、李方华、叶恒强、朱静。 国内著名的电镜中心：北京电镜室(物理所)、沈阳金属所、清华大学(国家电镜中心)。 1. 透射电镜的一般知识 1.1 什么是TEM? 1.2 TEM发展简史 1.3 为什么要用TEM? 1.3 为什么要用TEM？ (1) 可以实现微区物相分析 1.3 为什么要用TEM？ (2) 高的图像分辨率 电子波长的计算 德布罗意波: 非相对论公式： 狭义相对论公式： 常用物理常数： 1.3 为什么要用TEM？ (3) 获得立体丰富的信息 1.3 为什么要用TEM？ 第九章 电子衍射及显微分析 1. 透射电镜的一般知识 2. TEM工作原理 3. 透射电镜的结构 4. 电子衍射物相分析 5. 电子显微衬度像 2. 成像原理 阿贝成像原理 ?平行光束受到有周期性特征物体的散射作用形成各级衍射谱。（同级平行散射波经过透射后都聚焦在后焦面上同一点，形成衍射振幅的极大值……s2’, s1’, s0, s1, s2 ……）。 ?各级衍射波通过干涉重新在像平面上形成反映物的特征的像。 两种工作模式 ?在电子显微镜中，用电子束代替平行入射光束，用薄膜状的样品代替周期性结构物体，就可重复以上衍射成像过程。 在TEM中，改变中间镜的电流。使中间镜的物平面从一次像平面移向物镜的后焦面，可得到衍射谱，反之，让中间镜的物面从后焦面向下移到一次像平面，就可看到像。 这就是为什么TEM既能得到衍射谱又能观察像的原因。 第九章 电子衍射及显微分析 1. 透射电镜的一般知识 2. TEM工作原理 3. 透射电镜的结构 4. 电子衍射物相分析 5. 电子显微衬度像 3. 透射电镜的结构 3.1 电子光学部分 3.2 真空部分 3.3 电源与控制系统 3.4 电磁透镜的工作原理 3.1 电子光学部分 A. 照明系统 电子枪 聚光镜 B. 成像系统 物镜 (Objective lens) 中间镜 (Interme