叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究-液晶与显示.PDF

第 卷 第 期 液晶与显示 ３２ 　 １２ 　　 Vol．３２　No．１２ 　 　　　　 　　　　　　ChineseJournalofLiuidCrstalsandDislas 年 月 q y p y ２０１７ １２ 　 　 　 Dec．２０１７ 文章编号: ( ) １００７Ｇ２７８０２０１７１２Ｇ０９５６Ｇ０５ 叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究 ∗ , , , , 舒 适 齐永莲 徐传祥 张 锋 崔承镇 　 　 ( , ) 京东方科技集团股份有限公司 技术研发中心 北京 １００１７６ : , 、 摘要 本文研究了液晶显示面板彩色滤光片工艺中以叠层方式形成隔垫物的关键技术问题 即叠层隔垫物高度控制 主Ｇ , . 、 、 、 附隔垫物段差的形成和主 附隔垫物段差受后续平坦层工艺的影响变化等 并提出了解决方案 在黑矩阵 红色 绿色 Ｇ , , , 蓝色滤光层形成一定的叠层高度后 采用形貌追随型平坦化材料对像素区平坦 通过控制像素开口部分 OC的厚度 可 . ( ), 以实现叠层隔垫物高度的控制 采用改变叠层图案设计的方法形成主 副隔垫物高度差 段差 段差达成范围 Ｇ MainＧsub , , . 是 ０．４~１．２ m 达到了灰阶曝光方式可以达到段差的水平 但成本却大幅降低 并且验证了采用形貌追随型 OC材料 μ . . 覆盖可以较好的保持 OC工艺前形成的MainＧsub段差 基于以上技术制备了４Mask彩色滤光片原型机 : ; ; 关 键 词 彩色滤光片 叠层隔垫物 形貌追随型平坦化材料 　 　 中图分类号: 文献标识码: : / O４７２＋．１　　 A　　doi１０．３７８８YJYX０９５６ Formin hotosacerb laerstackin on gp p y y g TFTＧLCDCFsubstrate ∗ , ,