基于棋盘光栅Ronchi检验法的微变液面测量.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ６ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ６ Ｊｕｎ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０６０８１２０６ 　 基于棋盘光栅 Ｒｏｎｃｈｉ检验法的微变液面测量 张明照，王伯雄，罗秀芝，刘国忠，胡柏青 （清华大学 精密仪器与机械学系，北京 １０００８４） 摘要：提出了基于棋盘光栅 Ｒｏｎｃｈｉ检验法的微变表面形貌测量方法，可同时测量被测表面形貌两个正交方向的斜率，因 而可通过一幅变形棋盘光栅图重构被测表面形貌。使用取微分极值的方法可简单有效地实现变形棋盘光栅图两个正交 方向信息的分离和提取。根据所提出的测量方法和数据提取算法建立了微变表面形貌测量系统并对静态和动态表面形 貌进行了测量。结果表明，所建立系统的分辨率＜０．１ ｍ，测量范围＞５０ ｍ，符合有关研究中对微变液面的测量需求。 μ μ 关 键 词：棋盘光栅； 检验法；表面形貌；图像处理 Ｒｏｎｃｈｉ 　 　 中图分类号： ； ； 文献标识码： Ｏ４３６．１ＴＢ９２ＴＰ３９１．４ Ａ 　　 犘狉狅犳犻犾犲犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋犳狅狉犿犻犮狉狅狏犪狉犻狀 犾犻狌犻犱狊狌狉犳犪犮犲 狔 犵 狇 犫犪狊犲犱狅狀犮犺犲狊狊犫狅犪狉犱 狉犪狋犻狀 犚狅狀犮犺犻狋犲狊狋 犵 犵 ， ， ， ， ＺＨＡＮＧＭｉｎｚｈａｏ ＷＡＮＧＢｏｘｉｏｎ ＬＵＯＸｉｕｚｈｉＬＩＵＧｕｏｚｈｏｎ ＨＵＢａｉｉｎ ｇ ｇ ｇ ｑ ｇ （ ， ， ， ） 犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犐狀狊狋狉狌犿犲狀狋狊犪狀犱犕犲犮犺犪狀狅犾狅 犜狊犻狀犺狌犪犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犅犲犻犻狀 １０００８４犆犺犻狀犪 狆 犳 犵狔 犵 狔 犼 犵 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｂａｓｅｄｏｎｃｈｅｓｓｂｏａｒｄ ｒａｔｉｎ Ｒｏｎｃｈｉｔｅｓｔａｍｉｃｒｏｖａｒｉｎ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｆｉｌｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈ ｇ ｇ ｙ ｇ ｐ ， ｏｄｗａｓ ｒｏｏｓｅｄ ｗ