如何为您的应用选择理想的泄漏检测方法-PfeifferVacuum.PDF

如何为您的应用选择理想的泄漏检测方法 专业支持至关重要 每个应用和生产过程在泄漏检测方面都有自己的需求和要求。在不 在提供指南为您的应用选择合适的泄漏测试方法之前，本文中讨论 同的行业，质量控制和最大泄漏率都有不同的标准。因此，为每个 的不同技术将在概述中进行简单介绍： 应用选择最佳的泄漏检测方法至关重要。 ■ 在压力条件下使用微流量传感器进行空气泄漏测试 在过去几年中，使用空气或示踪气体的泄漏检测技术在电子设备领 该技术以使用加速流的集成微型传感器为基础。当空气从被测组 域取得了重大进展。新技术、灵敏度提高和测试周期更快 — 所有 单元或组件泄漏时，通过微流量传感器补充空气损失，以保持恒 这些技术进步都提高了不同泄漏测试方法的质量和可靠性。下面将 定的压力（见图 1）。损耗导致电信号与体积流量、质量流量分 介绍这些方法的优缺点及其对不同泄漏检测应用的适用性以及选择 别成比例。微流量传感器因此与压力容器一起运行，并具有 标准方面的专业建议。 -4 5 · 10 mbar l/s 的灵敏度，压力容器用于给被测单元 (UUT) 加 泄漏检测技术 — 概述 压。这种测试方法通常只需要简单的固定装置。 µ-flow 流量 泄漏 计 泄漏 压力容器 压力容器 UUT UUT （被测单元） 空气路径： 容器 — 管 — 孔 用微流量传感器测量： 气体（空气）形成流动 图 1：在压力条件下使用微流量传感器进行空气泄漏测试 µ-flow 流量计 泄漏 泄漏 真空容器 真空容器 UUT UUT （被测单元） 空气路径： 被测单元 — 腔室 — 真空容器 用微流量传感器测量： 气体（批量）提取 图 2：批量提取测试方法（真空测试） ■ 使用批量提取（真空条件）进行空气泄漏测试 1 微流量传感器技术的一种特殊形式叫做批量提取技术。其基本原 理与微流量方法相似，