线阵CCD在异形回转体轮廓尺寸测量中的应用.PDFVIP

1997 年11 月 重庆大学学报 ( 自然科学版) Vol. 20, l . 6 第20 卷第6 期 Journal of Chongqing University( Natural Science Edition) Nov. 1997 CCD * The Application of Lineary Array of CCD in Irregular 3-D Xiao Shali Zhong Xianxin Chen Yu Xu Daolian ( 重庆大学光电精密仪器系, 重庆, 000 ; 第一作者 岁, 男, 副教授) 讨论利用线阵CCD 图象测量方法。配备Z 、Y 二维运动工作台及绕Z 轴回转 数显工作台, 对异形回转 三维轮廓尺寸进行检测。用M arr 边缘检测算子对CCD 获得的 原始灰度图象进行处理, 采取最小二乘法完成曲线拟合, 获得亚象元分辨率。对5200 mm 异形回转 零件进行尺寸测量, 测量系统精度达到Lm 级, 并给出了试验结果。 位置测量仪/ 线阵CCD; 边缘检测 TH7 1. 1; TH7 1. 6 ABSTRACT An image metrology method using liner CCD camera is discussed in this pa- per. With the w orking table that could moves in Z 、Y dimensions and rotates around the Z-ax- is, the 3-D external profile of an irregular rotary object is detected. In order to get the sub-pixel resolution, the original data image from CCD is processed by M arr. s edge position detect algo- rithm, and the zerocross position is detected by the least square fitting method. In the mesure- ment of an irregular rotary part w hich has the size of 5 200 mm, the measure resolution of the detect system reaches the Lm level. The result of experiment is also discussed. KEYWORDS position measurement instruments; the linear CCD array; edgegy detection 0 着现代科学技术的发展, 物体表面轮廓的三维测量已成为现代测试技术的一个重要 分支。作为物体三维轮廓测量方法中, 常用的有三坐标测量法、干涉测量法、莫尔等高线法、 相位测量法等。基于非接触式在线测量, CCD 图象测量方法较其它方法有其自身优势, 测 量效率高。对那些薄壁、软质易变形以及有化学污染一类的加工零件能实施非接触在线快 速测量。 电耦合器件CCD 由于具有自扫描、光电灵敏度高、几何尺寸精确、敏感单元尺寸小等一 * 收文日期 1996- 11-01 86 重庆大学学报 ( 自然科学版) 1997 年 [ 1] 系列优点 , 因而被广泛的用于工业非接触测量领域中。在精密定位、尺寸测量等方面, 光 敏面上均