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激光干涉测量技术 * * 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 激光跟踪干涉测量系统——大范围、柔性、动态、高精度 大型几何参数、形位误差的在线测量； 运动目标（机器人手臂）空间轨迹、姿态监测和标定； 激光跟踪干涉测量技术 激光干涉测长仪——微米、纳米级的精密测量（微观） 大型工程对象的整体外形尺寸和形位误差的精密测量、动态测量 成为了急待解决的难题。 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 激光跟踪仪的基本组成 距离测量 角度测量 跟踪部分 控制部分 结构支撑 激光跟踪仪座标测量原理图 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 激光干涉仪——给出目标靶镜 目标点到参考点的距离； 跟踪机构——给出激光光束的转角。 激光跟踪干涉测量系统 常规激光干涉仪： 测量光束方向固定不变，一维的固定方向，根据测量反射镜在测量光束方向的运动，只能测量该方向上的位移 激光跟踪干涉测量系统：（激光干涉仪＋跟踪伺服机构） 改变测量光束的方向，使测量光束由一维直线方向转变成可投向三维空间的任意方向。 跟踪机构在伺服控制系统的控制下，可使激光束动态地跟踪一个在三维空间自由运动的目标靶镜。 实现对三维空间目标点的动态实时跟踪测量。 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 激光跟踪干涉仪 瑞士徕卡公司、美国SMX（FARO）、API公司 徕卡LTD500 SMXTracker4500 API Tracker Ⅱ 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 激光跟踪干涉仪(非测角型) 激光干涉测长仪+跟踪系统 激光干涉测长系统 跟踪控制系统 目标靶镜 跟踪转镜 探测器 分光镜 激光干涉测长系统 位置跟踪控制系统 跟踪转镜机构 目标靶镜 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 1）激光干涉测长系统 分光镜 激光器 1/4 1/4 参考光：由激光器发出，经偏振分光镜反射后，经过1/4波片， 经过反射镜反射后再经过1/4波片，在偏振分光镜上形成透射光通过 测量光：由激光器发出，经偏振分光镜透射后，经过1/4波片， 到达测量系统，返回后再经过1/4波片，在偏振分光镜上形成反射光通过 两束光干涉后进入激光系统计数。 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 1）激光干涉测长系统 参考光：由激光器发出，经偏振分光镜反射后，经过角锥棱镜获得横向位移， 再次到达偏振分光镜上反射，到达激光器 测量光： 由激光器发出，经偏振分光镜透射后，经过1/4波片，反射镜反射后，再次经过1/4波片，此时 偏振态旋转了90o； 到达偏振分光镜后形成反射光，经过角锥棱镜获得横向位移，到达偏振分光镜后，反射； 经过1/4波片，到达测量系统，返回光再次经过1/4波片，偏振态旋转了90o， 在偏振分光镜上 形成透射光通过，到达激光器 两束光干涉后进入激光系统计数。 分光镜 激光器 1/4 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 1）激光干涉测长系统 参考光：由激光器发出，经偏振分光镜反射后，经过角锥棱镜顶点，原光路返回到达激光器 测量光： 由激光器发出，经偏振分光镜透射后，到达测量系统，返回光在偏振分光镜上透射通过，到达激光器 两束光干涉后进入激光系统计数。 跟踪控制系统 目标靶镜 跟踪转镜 探测器 分光镜 分光镜 激光器 HP5528A干涉仪，通过测量直线度的功能实现对位移测量 要求返回光与出射光处于同一直线上 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 2）跟踪转镜机构 跟踪转镜 双转镜原理：两套独立的转镜，光束经过二次反射，达到空间任意位置 光束入射角度不同，对第二反射镜面上有不同反射点， 带了附加光程。 单转镜原理：一个转镜，通过两个独立电机进行驱动。 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 3）位置跟踪控制系统 跟踪转镜 电机 跟踪转镜 I/V转换 光电池 光斑偏差 前放 PID调节 功放 K(s) M(s) T(s) P(s) R(s) 四象限光电池 四象限探测要求：光斑理想几何圆形 光斑能量分布均匀 A B C D O 激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术 3）位置跟踪控制系统 A B C D O O’ 光斑的水平位移 光斑的垂直位移 A D B C I/V I/V I/V I/V 加法 加法 加法