可延展柔性光子_电子集成器件及转印技术_黄银_李海成_陈颖_蔡世生_张迎超_陆炳.pdfVIP

中国科学: 物理学 力学 天文学 2016 年 第46 卷 第4 期: 044607 《中国科学》杂志社 SCIENTIA SINICA Physica, Mechanica Astronomica SCIENCE CHINA PRESS 评 述 可延展柔性光子/ 电子集成器件专辑 可延展柔性光子/ 电子集成器件及转印技术 ①② ①② ①② ①② ①② ①② ①②* 黄银 , 李海成 , 陈颖 , 蔡世生 , 张迎超 , 陆炳卫 , 冯雪 ① 清华大学航天航空学院, 应用力学教育部重点实验室, 北京 100084; ② 清华大学先进力学与材料中心, 北京 100084 *联系人, E-mail: fengxue@ 收稿日期: 2016-01-04; 接受日期: 2016-01-25; 网络出版日期: 2016-02-25 国家重点基础研究发展计划(编号: 2015CB351900), 国家自然科学基金(批准号: 11320101001,和清华大学自主科 研项目资助 摘要 基于无机半导体材料的光子/ 电子集成器件, 是现代信息系统的重要组成部分和基础支撑. 人与信息的 交互融合是信息技术的主要发展方向, 这种新的信息交互手段对电子集成器件提出了可延展柔性化的需求, 以 实现物理世界、信息数据和人类社会资源的综合利用. 可延展柔性化的集成器件, 可突破传统刚性无机集成器件 不可变形、无法与人体曲面环境集成的瓶颈, 极大拓展了传统半导体器件的物理形态及应用范围, 也必将在健康 医疗、脑机融合、物联网等领域产生巨大影响. 本文对可延展柔性光子/ 电子集成器件的基本原理和设计方法进 行了详细介绍, 并以大脑、心脏和皮肤可集成的可延展柔性无机电子集成器件为例展示了其在生物医疗方面的 应用价值, 然后介绍了可延展柔性光子/ 电子集成器件的转印制备技术, 最后展望了其未来发展方向. 关键词 可延展柔性, 光子/ 电子集成器件, 转印 PACS: 62.50.+p, 47.40.–x, 43.40.Jc 1 引言 受大变形, 不适合与人体等柔软, 非平面组织进行集 成. 因此, 突破传统刚性电子的新型电子产品, 即柔 基于无机半导体材料的光/ 电子集成器件具有性 性电子逐渐成为了人们关注的焦点[1–3]. 在新的需求 能好, 可靠性高等优点, 在推动信息技术的发展中起 和经济利益的驱动下, 国内外对柔性电子的研究热 着关键性作用, 是现代信息系统的重要组成部分. 随 情日益增长, 目前已有众多研究机构和大型公司对 着光/ 电子技术的不断发展, 人们对下一代光/ 电子产 柔性电子进行研究 [4–7]. 例如 , 美国国防预研局 品提出了新的需求, 例如日常光/ 电子的便携性, 面 (DARPA)与航天局(NASA)制定了庞大的柔性电子技 向医疗健康光/ 电子的可穿戴性和可植入性等. 然而, 术研究计划; 美国国立卫生研究院(NIH)与国立卫生 传统刚性的无机集成器件具有硬脆的特点, 难以承 基金会(NSF)推动了针对健康管理及柔性器件生物集 引用格式: 黄银, 李海成, 陈颖, 等. 可延展柔性光子/ 电子集成器件及转印技术. 中国科学: 物理学 力学