生根在中研院物理所的扫描探针显微术.PDFVIP

掃描探針 顯微術專題 生根在中研院物理所的掃描探針顯微術 Development of Scanning Probe Microscopy at the Institute of Physics in Academia Sinica 黃英碩、張嘉升、洪紹剛、陳彥甫、胡恩德、楊志文、陳雅柔 Ing-Shouh Hwang, Chia-Seng Chang, Shao-Kang Hung, Yen-Fu Chen, Edwin Hu, Chih-Wen Yang, Ya-Rou Chen 中央研究院物理研究所經過多年的努力，已成功開發出掃描穿隧顯微術、原子力顯微術及其 他相關奈米技術。本文將簡單回顧開發的歷史，並介紹這些儀器的主要架構與功能，此外， 也提供圖像與敘述作印證。目前我們正積極開發第二代商品化掃描探針顯微儀，也期望藉著 該技術之發展，能結合更多學界與業界之有志之士，將該顯微術之潛能發揮到極致，甚且衍 生出嶄新的技術與產業。 After many years of effort at the Institute of Physics in Academia Sinica, we have successfully developed scanning tunneling microscopy, atomic force microscopy, and several other related nanotechnologies. In this article, our development history is briefly reviewed, and the functions and schematics of our instruments are presented. We also show several images taken by our microscopes and provide discussions on them. Now we are actively developing our second-generation commercial scanning probe microscopes. Through the development of these technologies, we hope to cooperate with other scientists and engineers to broaden the current technologies to an unexplored horizon, and to even bring forth new technologies and industries. 一、前言 先進國家，如歐、美、日，甚至韓國，受到很大的 重視；相對而言，台灣在 SPM 的應用及技術開 掃描探針顯微術 (scanning probe microscopy, 發，比較缺乏及落後。 SPM) 是奈米科技中的關鍵核心技術(1) ，能作奈米級 反觀電子顯微術，目前大家都很清楚它對研究 成像及奈米級特性量測，甚至有人利用它進行奈米 及產業界的重要性，但台灣已落後半世紀之久，難 級操控(2) ，及製作奈米結構或元件。另外，SPM 的 以追上現有技術成熟的廠商。台灣希望奈米科技能 技術也可延伸，與微機電 (micro-electro-mechanical 在國內生根、發展，自然不能漏掉 SPM 這一重要 system, MEMS) 技術結合，製作超高密度、奈米級 技術。尤其 SPM 仍是發展中的技術，它所牽涉到 記憶體(3) ，或高靈敏度生物、化學分子的感測 的產業技術，如電子、機械及軟體，在台灣都已有 (sensing) 元件(4-7) 。SPM 技術的研發及應用在科技 良好的