基于fbar的微质量传感器的设计及应用技术研究-电子科学与技术专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 上海 上海交通大学工学硕士学位论文 基于 FBAR 的微质量传感器的设计及应用技术研究 摘 要 无线传感器网络是目前国际上一个前沿热点研究领域。它的学科交 叉性强，知识集成度高，受关注程度也很高。传感器网络中的各个节点 要求体积小、功耗低、灵敏度高、可靠性强，这些性能均可由 FBAR 实 现。但是相对其他较成熟的应用而言，FBAR 作为质量传感器的研究与 应用起步相对较晚，故此还有很大的研究价值。 本文首先用实验室方法制备得到了基于 Bragg 反射层结构的 FBAR， 获得了比较理想的阻抗特性。结合 FBAR 的特点与现有的实验条件，为 FBAR 设计了一套 SOLT 微波测量装置，能免去探针台直接在 PCB 上测 试 FBAR 的性能，且测量结果有良好精确度，为开展各项实验提供有利 条件。同时利用测量数据提取了 FBAR 等效模型 MBVD 中各个参数的实 际值，并建立了相应的 ADS 元件库，能将 FBAR 直接放入电路进行仿真， 有效地降低后续电路设计难度与仿真时间。 本文针对制得的 FBAR 器件设计并成功制作了微质量传感器系统， 采用差频计数的方式检测谐振器的谐振频率变化。整个系统包含两路微 波振荡器，输出信号经过混频器作差频，使信号的频率得到了大幅的下 降，降低了后续电路的要求，提高了系统的可靠性。信号再通过低通滤 波、放大、波形转换与数字分频等处理后输入单片机计数，最后存储并 显示测量结果。整个电路系统模块清晰，分工合理，经过调试后已经具 有一些基本功能，并且系统测试结果的重复性比较高，可以实时方便有 效地反映频率的变化，进而推算出质量的变化。 关键字：FBAR，质量传感器，SOLT 校准，差频检测，实时系统 i RESEARCH OF THE DESIGN AND APPLICATION TECHNOLOGY OF FBAR BASED MICRO-MASS SENSOR ABSTRACT Wireless Sensor Network (WSN) is one of the cutting-edge research fields currently in the world, which is a multi-interdisciplinary field and of high knowledge density. It has attracted much consideration. All the nodes in the sensor network should be of low volume, low power consumption, high sensitivity and high robustness. All these merits can be achieved with FBAR. But unlike other long-existing applications, researches on FBAR based mass sensor start relatively late. So it has large application potential and value. This paper has manufactured Bragg-reflector structured FBARs which have satisfactory impedance characteristics using laboratory methods. In accordance with the distinguishing features of the FBAR and current experiment conditions, an SOLT microwave test apparatus has been designed for the FBAR to measure the characteristics without the probe station. It has nice accuracy and can provide extra beneficial conditions. With the acquired data the parameters in MBVD of the FBAR have been extracted successfully, which leads to the corresponding ADS component library. The model enables the FBAR to be directly connected to the circui